도입사례

중국 우한(Wuhan) 소재 Hubei University of Technology(End User)에 설치된 ZEISS Sigma 360 FE-SEM용 DVIA-ULFB700(시리얼 260203R2) 설치 보고서입니다. 2026.08.04 튜닝에서 공압 설정과 축별 제어 게인을 조정했고, 장비를 Turned off 상태로 두고 측정한 결과 바닥과 DVIA-ULFB700 상판 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 ZEISS 진동 스펙을 만족했습니다. 튜닝 요청 작업지시서, UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치된 Sigma 360 현장 사진을 함께 게시합니다.

브루커 코리아를 통해 코스모신소재 AMT에 공급된 DVID-C 제진 카운터(시리얼 260415R2)의 설치 보고서입니다. Bruker Contour X-500 광학 프로파일로미터가 놓이는 자리로, 2026년 8월 5일 장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태에서 B&K Front End Type 3040-A-040과 PCB 393B05 가속도계로 진동을 측정했습니다. 바닥 자체가 이미 VC-B를 만족하는 양호한 환경이었고, DVID-C 상판에서도 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축) 세 축 모두 VC-B 기준선 아래에 머물러 전 주파수 대역에서 기준을 넘는 피크 없이 PASS했습니다. 축별 VC Curves와 IEST-RP-CC012.2 진동 수준 분류표를 함께 게시합니다.

Tier-1 Semiconductor 기흥 사업장 SR1동 V1라인 3층 Bruker AFM(NM-VI6) 하부에 설치된 DVIA-P4000(시리얼 200805R3)의 VOC 26-132 설치 보고서입니다. 튜닝 날짜는 2026년 7월 21일, 보고서 작성일은 2026년 8월 3일입니다. 반복적으로 발생하던 제진대 POS 알람 이슈를 해결하고 상부 장비 로딩 조건에서의 제어 마진을 확보하기 위해 현장 점검 및 재튜닝을 진행했습니다. IDLE 상태에서 1~100Hz 구간 6.25 µm/s RMS(VC-D) 스펙을 기준으로 측정했으며, 측정 장비는 B&K Front End 3040-A-040, Pulse Labshop 22, PCB 393B05 가속도 센서입니다. 바닥은 수직축에서 스펙을 초과(FAIL)했으나 DVIA-P4000 상판은 3축 모두 PASS했습니다. 수직·좌우·전후 3축 VC Curves를 게시합니다.

Hitachi High-Tech SU8600 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Wuxi(우시)에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤 장비가 IDLE 상태에서 튜닝·진동 측정을 수행했습니다. 수평·수직 허용 진동 사양 기준으로 수직·좌우·전후 전 축에서 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 PASS했습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 축별 Autospectrum, 설치 사진을 게시합니다.

Yidon Technologies YF-1801 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Suzhou(쑤저우)에 설치 후(End User: Yidong Optical Technology), 장비가 IDLE 상태에서 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 튜닝·측정했으며 수직·좌우·전후 전 축에서 DVIA-ML1000 플랫폼이 VC-G를 달성했습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 축별 Autospectrum·VC Curves, 설치 사진을 게시합니다.

1차 전자부품 제조사 세종사업장 P5 3F Clean Room BGA-PSP 도금두께 측정기 DVIA-P2200 설치 보고서 — 장비 설치 및 Turned off 상태에서 튜닝·진동 측정. 바닥/제진대 전 축에서 VC-B 기준 만족.