도입사례

AOV CO.,LTD(타이베이)의 GBS metrology GmbH WLI(GBS smartWLI Firebolt8) 아래 설치된 DVIA-T56(시리얼 260813R3) 설치 보고서입니다. 발진(oscillation) 문제 해결을 위한 원격 튜닝 후, 가동 상태 측정에서 고객사 지정 VC-D 기준을 만족(수직 VC-G, 좌우 VC-E, 전후 VC-G)한 결과를 확인했습니다.

Jiangyin에 설치된 JEOL JSM-IT300 SEM 장비(고객사)에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260825R5) 설치 보고서입니다. 최종 사용자 Jiangyin Xingcheng Special Steel Works Co., Ltd.의 장비를 IDLE 상태로 두고 2026.10.16에 튜닝 및 진동 측정을 진행했으며, 바닥과 제진대 위 모든 축이 2 µm pk-pk 진동 사양을 통과했습니다.

(최종 사용자: 서안 교통대 시험센터) ZEISS Gemini SEM 560 장비용 DVIA-ULF 1000(S/N 250923R4) 설치 보고서 — 시안(Xi’an) 현장에서 Idle 상태로 튜닝·진동 측정(Autospectrum)을 수행. 수평 축 2–3 Hz 부근에서 공진이 관측되었고, 고객 진동 사양 대비 모든 측정 축이 기준 충족(PASS)을 확인.

현대자동차 남양연구소에 Keyence VHX-X1 디지털 현미경이 올라간 DVIA-TD45(시리얼 260722R4)를 재튜닝하고 작성한 설치 보고서입니다. 상부 장비가 움직이거나 하중이 바뀌어도 안정적으로 동작하도록 안정성 위주로 재튜닝을 진행하였고, IDLE 상태 진동 측정에서 제진대 상부가 바닥(VC-A~VC-B)보다 개선된 VC-C~VC-E 수준임을 확인하였습니다.

LG이노텍(구미사업장 4공장 2층 클린룸) 나노시스템 정밀 계측설비(백색광 간섭계) DVIA-ULF1000 데모 테스트 보고서 — 설치 후 IDLE 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하고 VC Curve로 표기. Z축 VC-F, X축 VC-E, Y축 VC-D 수준을 확보하여 우수한 진동 절연 성능을 확인. 축별 Autospectrum·VC Curves와 설치 사진을 게시.

Hitachi 수원 NCK센터 1층 연구실 Hitachi High-Tech TEM(HT7830)의 DVIA-ULFB1000 설치 보고서입니다. 설치 후 장비 IDLE 상태에서 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다. 바닥 진동이 이미 수직 VC-E, 수평 VC-G 수준으로 매우 우수하여 전 축에서 장비 요구 진동 스펙을 만족하는 것을 확인하였습니다.