AOV CO.,LTD GBS smartWLI Firebolt8 WLI DVIA-T56(260813R3) 설치 보고서
Contents
개요
DVIA-T56 데모 유닛을 대만 타이베이의 AOV 연구실에 전달(2026.09.10)한 후, 발진(oscillation) 문제가 접수되어 원격 튜닝을 진행하였습니다.
장비가 가동(turned on)된 상태로 진동 측정을 진행하였습니다.
Data는 VC Curve 형태로 표기하며, 진동 수준에 대한 Reference 자료를 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-T56
시리얼 넘버: 260813R3
엔지니어
문창현 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.22
End User
AOV CO.,LTD
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Taipei City / No. 363, Songjiang Rd., Zhongshan Dist/ 2F
고객사 장비
제조사: GBS metrology GmbH
장비명: WLI
모델: GBS smartWLI Firebolt8
진동 스펙
적용 기준: VC-D 기준 곡선 (IEST-RP-CC012.2; 18절 참고자료 참조)
고객사가 지정하는 요구 사항이며, 제조사의 표준 사양에 포함된 항목이 아닙니다.
| 주파수 [Hz] | 허용 값 [VC-Curve] |
|---|---|
| 1 ~ 3.15 | 6.25 (VC-D) |
| 4-80 | 6.25 (VC-D) |
평가 대역: 4–80 Hz (1–100 Hz 측정; 4 Hz 미만 및 80 Hz 초과 대역은 참고용 표시)
평가 기준: 평가 대역 내 모든 1/3 옥타브 대역 레벨이 X, Y, Z 각 축마다 기준 이하이면 적합(Compliant)으로 평가.
장비 상태
장비가 가동(turned on) 또는 IDLE 상태
진동 측정 장비
Measurement Equipment
| 항목 | UI (제진대 내장 센서) |
|---|---|
| 계측기 / 소프트웨어 | DVIA-T56 · DAEIL SYSTEMS Tuning Software DVIA-ML/ULF (6 DOF) Ver 2.0.2 |
| 센서 | 제진대 내장 속도 센서 (Top / Bottom) |
| 채널 | Top = 제진대 상부 테이블 |
| Bottom = 제진대 베이스 |
진동 측정 Setup
F Span: 136.7 Hz
Lines: 1600
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging · Overlap: 100 · Overlap 99 %
튜닝 요청
1) 발진(oscillation) 해결
2) Z축: VC-D 이내. 장비 성능에 가장 큰 영향을 미치는 축이 Z 축이므로, 고객사 요청에 따라 Z 축 중심의 튜닝을 진행하였습니다.
결론
1) DVIA-T56 능동 제진 시스템의 튜닝 이후, 고객사가 지정한 진동 성능 요구 사항을 만족하였습니다.
2) 수직(Z) 방향에서 제진대 상부 진동은 VC-G (0.6 µm/s rms @ 22.8 Hz), 설치면(베이스) 진동은 VC-B (12.6 µm/s rms @ 22.8 Hz)를 확인하였습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 데이터 | 결과 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-T56 | 바닥 | DVIA-T56 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-T56 | 9절 참조 | Vertical | VC-B 12.6µm/s @ 22.8Hz | VC-G 0.6µm/s @ 22.8Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-B 13.8µm/s @ 18.0Hz | VC-E 2.3µm/s @ 1.1Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-A 26.7µm/s @ 17.8Hz | VC-G 0.6µm/s @ 17.8Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Vertical — VC Curves
Vertical — Autospectrum
Left to Right — VC Curves
Left to Right — Autospectrum
Front to Back — VC Curves
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
