오직 써모피셔 SEM위한 액티브 시스템.
Thermo Fisher Scientific SEM을 위한 완벽한 맞춤형 엔지니어링.
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오직 Thermo Fisher SEM만을 위해.
호환 가능한 Thermo Fisher SEM 라인업.
찾으시는 모델이 없나요? 맞춤형 구성도 얼마든지 가능합니다. 전담 엔지니어와 상담해 보세요.
DVIA-MLP 설치영상
비디오 로딩 중...
정밀한 일치.
현미경과 완벽한 체결
4개의 아이솔레이터에는 SEM 베이 스 프레임의 캐스터 위치와 정확히 일치하는 관통형 홀이 마련되어 있습 니다. 어댑터도, 번거로운 심(Shim) 작업도 필요 없죠. 가장 완벽하고 직 접적인 기계적 체결입니다.
158 mm. 제약 없는 완벽한 공간.
874 × 846 × 158 mm. 기존 챔버 내부에도 어떠한 개조 없이 쏙 들어갑니다. SEM은 플랫폼 위에 직접 안착되며, 작업자의 편안한 기존 동선과 인체공학 적 환경은 온전히 보존됩니다.
측면 밀어넣기. 혁신적인 설치 방식.
DVIA-MLP 캐스터를 사용하여 현미 경 밑으로 밀어 넣어서 설치를 하면 끝입니다. 거대한 크레인도, 무거운 장비를 위험하게 들어 올릴 일도 전 혀 없죠. 설치는 더 빨라지고 비용 은 줄어들며, 고가의 장비가 손상될 위 험은 완벽한 제로(0)입니다.
공기 스프링. 한 차원 진보한 성능
공기 스프링과 액티브 제어 알고리즘의 완 벽한 시너지. 치명적인 저주파 진동을 빈틈 없이 제거하여, 외부 환경에 극도로 민감한 Thermo Fisher SEM을 가장 안전하게 지켜냅니다.
피드백은 보정하고. 피드포워드는 예측한다.
피드백은 격리 질량의 진동을 실시간으로 측정하고 보정합니다. 피드포워드는 바닥을 감지하여 외란이 도달하기 전에 제거합 니다. 두 제어가 결합되어 탁월한 저주파 제진 성능을 구현하며, 장비는 진동이 존재하지 않는 것처럼 작동합니다.
작동 원리
패시브 제어 (스프링 & 댐퍼):
액티브 제어 시스템 없이 스프링(k)과 댐퍼에만 의존한다면 어떨까요. 어떻게든 충격을 흡수하려 애쓰겠지만, 치명적인 저주파 대역에서는 오히려 바닥의 진동을 증폭시켜 장비 전 체를 요동치게 만드는 공진을 일으키고 맙니다.
피드포워드 제어:
지면 센서의 데이터를 활용해 액추에이터에 선제적인 명 령을 내립니다. 바닥에서 올라오는 진동이 소중한 장비에 채 닿기도 전에, 그 진동을 원천적으로 무효화해 버리죠.
피드백 제어:
장비에 아주 미세하게 남아있는 잔여 진동(y)마저 끊임없이 추적합니다. 그리고 즉각적으로 반응하는 액추에이터가 남 은 흔들림조차 실시간으로 완벽히 진동을 상쇄합니다.
두 개의 진보된 제어 기술이 하나로 맞물리는 순간, 제진 성능은 전혀 다른 차원으로 나아갑니다. 초정밀 장비는 어떤 환경 속에서도, 진동의 흔적조차 남기지 않습니다.
시스템 제어
바닥 진동
저주파 진동 시뮬레이션
피드포워드 제어
선제적 플로어 센싱
피드백 제어
반응형 상쇄
모든 디테일. 하나의 목적.
1단계: 원신호 입력
극미세 진동이 센서에 포착됩니다. 진폭이 매우 낮기 때문에 주변 노이즈에 묻히기 쉽습니다.
2단계: 하드웨어 증폭
DVIA-MLP1000 유닛이 아날로그 게인을 적용하여 전체 신호를 증폭합니다. 원하는 저주파 파형과 고주파 노이즈가 모두 증폭됩니다.
3단계: 소프트웨어 필터링
첨단 디지털 알고리즘이 0.3 Hz까지의 주파수만을 분리하여 유지하고, 노이즈를 완전히 제거하여 깨끗하고 판독 가능한 사인파를 남깁니다.
0.3 Hz부터 감지.
하드웨어 앰프가 저주파 게인을 끌어올리고, 디지털 필터가 신호를 섬세하게 다듬어냅니다. 이 완벽한 조화가 0.3 Hz라는 극한의 초저주파 대역까지 감지와 제진 성능을 확장합니다.
알아채기도 전에, 이미 반응하다.
초당 18억 번의 연산(1800 MFLOPS)을 수행하는 부동소수점 DSP가 진동 데이터를 실시간으로 처리합니다. 시스템의 반응 속도는 단 0.5밀리초(ms). 진동이 현미경에 닿으려 할 때쯤, 그 흔들림은 이미 지워진 지 오래입니다.
감지할 수 없는 것을 감지한다.
2.55 V/in/s의 경이로운 감도와 단 0.15%의 왜곡률을 지닌 11개의 지오폰(Geophone) 속도 센서. 다른 시스템이라면 속 수무책으로 놓쳐버릴 초저주파 진동마저 남김없이 잡아냅니다. 무시할 수 없다면, 철저히 지워내야 하니까요.
6축. 타협 없는 제어.
DVIA-ULF는 6자유도 모두를 진동을 완벽하게 통제합니다. 3개의 병진 축, 3개의 회전 축. 그 어떤 방향의 진동도 제어 망을 벗어날 수 없습니다. 독자적인 알고리즘이 각 축을 독립 적으로 분리하여 축 간 간섭을 완전히 차단하죠. 서브 마이크 론 수준의 병진 안정성과 서브 마이크로라디안 수준의 각도 안정성을 동시에 이룩합니다.
자기장 제로. 깊은 침묵.
0.05μT 미만의 극소 자기장 발생. 전자빔은 아주 미세한 자기장 간섭에도 극도로 민감하게 요동칩니다. DVIA-ULF는 철저히 자 기적 침묵을 유지하도록 설계되었습니다. 빔의 궤적은 변함없이 올곧게, 이미지는 언제나 선명하게 유지되죠.
158mm. 최소의 높이, 최상의 퍼포먼스.
874 x 846 x 158 mm. 기존 인클로저 내부에 그대로 들어가는 초슬림 프로파일. 층고가 가장 높은 SEM도 간섭 없이 설치할 수 있으며, 작업자의 원래 시야 높이는 그대로 유지됩니다.
사용자 인터페이스. 모니터링. 기록. 그리고 투명한 데이터 검증.
DVIA-MLP1000의 UI는 6개 축 모두의 실시간 진동 수준, 액추에이터 반응, 센서 출력값을 직관적으로 보여줍니다. 모든 데이터는 자동으로 기록되죠. 언제든 과거의 트렌드를 분석하고, 리포트를 내보내거나, 제진 성능을 직접 검증해 보십시오.
제진 성능
오토 스펙트럼
VC Curves
센서 및 액추에이터
사양
도입사례
세계 최고 수준의 반도체·항공우주·연구 시설이 선택한 기술. 모든 시스템은 설치 현장에서 측정되고 검증됩니다.
당신의 장비에는, 무엇이 필요한가요?당신의 장비에는, 무엇이 필요한가요?
현미경 모델과 현장 조건을 알려주세요. 최적의 구성은 저희가 설계합니다.현미경 모델과 현장 조건을 알려주세요. 최적의 구성은 저희가 설계합니다.