업계 최고 수준의 제진 성능.
패시브 에어 스프링 방식의 제진대는 저주파 영역에서 진동을 오히려 증폭시키는 한계가 있으며, 기존 액티브 시스템은 이를 충분히 보상하지 못합니다. DVIA-T는 이러한 한계를 극복하여 시장 최고 수준의 진동 감쇠 프로파일을 제공합니다. 초고감도 속도 센서와 무마찰 전자기 액추에이터를 탑재하여, 바닥 진동이 장비에 전달되기 전에 내장 컨트롤러가 실시간으로 정밀한 역방향 보상력을 생성합니다. 액티브 제어는 업계 최고 수준인 0.5 Hz부터 즉각적으로 개입합니다. 단 2Hz 대역에서 90% 이상의 제진 효율을 돌파하며, 완벽한 6자유도(6-DOF) 제어를 통해 당신의 초정밀 장비에 절대적인 공간 안정성을 보장합니다.
진정한 플러그 앤 플레이. 복잡한 설치 없는 액티브 제진 시스템.
최상의 퍼포먼스를 누리는 데 번거로움은 필요 없습니다. 설치 과정의 모든 복잡성은 설계 단계에서 철저히 배제되었습니다. 표준 AC 전원 케이 블을 연결하고 장비를 안착시킨 뒤, 단 두 개의 버튼만 누르십시오. 장비를 올리고 초기 셋업인 '오토 레벨링(Auto-Leveling)' 후 '액티브 제어 (Active Isolation)'를 버튼을 누르면 끝입니다. 공압 라인 배관이 불필요하고, PID 파라미터 수동 튜닝도 필요하지 않습니다. 내장 컨트롤러가 페이로드 질량을 자동으로 감지하여 최적의 피드백 루프와 피드 포워드를 자동 설정합니다. 당신이 할 일은 그저 연구에만 몰두하는 것뿐.
±0.08mm 반복정밀도의 정밀 자동 수평 조절
장비를 새롭게 올리거나 교체할 때, 번거로운 설정은 이제 잊으세요. 스마트 오토 레벨링 기능이 하중의 변화를 즉각적으로 감지하고 단숨에 완벽한 밸런스를 잡아냅니다. ±0.08 mm의 놀라운 반복 정밀도는 장비를 바꿀 때마다 거쳐야 했던 지루한 수동 캘리브레이 션 과정을 완전히 지워버리죠. 당신의 워크플로우에 단 1초의 끊김도 없도록. 장비를 올리는 바로 그 순간, 곧바로 다음 연구를 시작할 모든 준비를 마칩니다.
믿을 수 없이 가볍게.
이토록 압도적인 제진 기술을 고작 93mm의 두께, 25kg의 콤팩트한 폼팩터 안에 모두 담아냈습니다. 누구나 두 손으로 손쉽게 들고, 원하는 곳 어디든 가볍게 설치할 수 있죠. 복잡한 설치 공간의 제약도 한 번에 극복했습니다. DVIA-T가 놓이는 비좁은 연구실 책상 위, 그곳이 바로 가장 완벽한 실험실이 됩니다.
이제 두 눈으로 선명하게.
완벽하게 통제된 진동을 시각적으로 확인하세요. 전면의 직관적인 LCD 디스플레이와 전용 UI 소프트웨어가 현재 바닥의 진동 수준과 압도적인 차단 성능 을 실시간 데이터로 보여줍니다. 요동치던 파형이 평온한 일직선으로 바뀌는 경이로운 순간. 흔들림 없는 확신을 당신의 두 눈으로 직접 경험하세요.
제진 성능
오토 스펙트럼
VC Curves
액추에이터, 센서
피드백은 보정하고. 피드포워드는 예측한다.
피드백은 장비의 흔들림을 측정해 실시간으로 상쇄합니다. 피드포워드는 바닥의 움직임을 한발 먼저 읽어내어, 진동이 도착하기도 전에 지워버리죠. 이 두 기술이 만나 완성한 전례 없는 저주파 제진 퍼포먼스. 이제 당신의 장비는 마치 애초에 진동이란 존재하지 않았던 것처럼, 완벽한 고요 속에서 작동합니다.
작동 원리
패시브 제어 (스프링 & 댐퍼):
액티브 제어 시스템 없이 스프링(k)과 댐퍼에만 의존한다면 어떨까요. 어떻게든 충격을 흡수하려 애쓰겠지만, 치명적인 저주파 대역에서는 오히려 바닥의 진동을 증폭시켜 장비 전 체를 요동치게 만드는 공진을 일으키고 맙니다.
피드포워드 제어:
지면 센서의 데이터를 활용해 액추에이터에 선제적인 명 령을 내립니다. 바닥에서 올라오는 진동이 소중한 장비에 채 닿기도 전에, 그 진동을 원천적으로 무효화해 버리죠.
피드백 제어:
장비에 아주 미세하게 남아있는 잔여 진동(y)마저 끊임없이 추적합니다. 그리고 즉각적으로 반응하는 액추에이터가 남 은 흔들림조차 실시간으로 완벽히 진동을 상쇄합니다.
두 개의 진보된 제어 기술이 하나로 맞물리는 순간, 제진 성능은 전혀 다른 차원으로 나아갑니다. 초정밀 장비는 어떤 환경 속에서도, 진동의 흔적조차 남기지 않습니다.
시스템 제어
토글을 전환해 보세요. 피드백과 피드포워드 시스템이 저주파 진동을 어떻게 마법처럼 지워내는지 직접 눈으로 확인하실 수 있습니다.
기술 사양
DVIA-T45 Specifications
- 치수 (W × D × H)
- 420 x 500 x 93 mm
- 페이로드 용량 옵션
- 90 / 150 / 250 kg
- 액티브 제어 메커니즘
- 피드백 및 피드포워드 제어
- 제어 자유도
- 6 DOF
- 액티브 제진 대역폭
- 0.5 - 200 Hz
- 제진 성능
- 80 – 90% at 1 Hz, 90 – 99% at 2 Hz
- 액추에이터
- 전자기 액추에이터
- 최대 액추에이터 추력
- 수직: 12 N, 수평: 12 N
- 진동 센서
- 속도 센서, 감도: 100.4 V/m/s ± 10%
- 응답 시간
- < 0.5 ms
- 레벨링 반복정밀도
- ±0.08 mm
- 자기장
- < 0.05 µT
- 사용자 인터페이스
- 실시간 모니터링 및 데이터 로깅
- 컨트롤러
- 통합형
- 규격 / 인증
- CE, TÜV
- 전원 사양
- 100-240 V AC, 50/60 Hz, 72 W, 1.0 A
- 환경 요구 사항
- 온도: 5–50 °C, 상대 습도: 20–90%
도입사례
현장에서 검증된 절대적 신뢰성. 세계 최정상급 반도체, 항공우주, 그리고 기초과학 연구 시설이 대일시스템의 액티브 제진 시스템을 도입했습니다.
설치되는 모든 시스템의 성능은 고객의 현장에서 직접 측정되고 완벽하게 검증됩니다.
Tier-1 Semiconductor Icheon OLYMPUS Microscope MX63L DVIA-T78 (260819S1) Installation Report
Installation report and demo test for the DVIA-T78 (serial 260819S1) installed in the 1F laboratory of the P&T4 building at a Tier-1 Semiconductor Icheon campus, under an OLYMPUS MX63L microscope. The microscope had no formally defined allowable vibration specification, but image resolution degraded and visible shaking appeared during operation, and the passive isolation table in use was not enough. Two demo tests on the DVIA-T78 and two baseline measurements on the passive table were taken with a B&K Front End Type 3040-A-040 and a PCB 393B05 accelerometer in the IDLE state. On the active platform all three axes settled to the VC-D to VC-E range, and the microscope image shaking and noise disappeared completely. All 24 per-axis Autospectrum and VC Curves plots are published together with the IEST-RP-CC012.2 vibration criteria reference.
Hyundai Motor Keyence Laser Confocal Microscope VK-3000 DVIA-TD45 Installation Report
Hyundai Motor Environmental Technology Research Center Keyence Laser Confocal Microscope VK-3000 DVIA-TD45 installation report — isolator oscillation diagnosed and re-tuned to meet the VC-C requirement; the DVIA-TD45 platform passes on all axes while floor left-to-right fails, with ventilation-duct airflow noted as an additional influence.
Robocube Tech 6-Axis Actuator DVIA-T87 (260423R2) Installation Report
Installation report for the DVIA-T87 (serial 260423R2) supplied to Robocube Tech. After installation in the Robocube Tech assembly room, tuning and vibration measurement were carried out on 17 June 2026 with the unit in the IDLE state. All three axes — vertical (Z), left to right (X) and front to back (Y) — passed on both the floor and the DVIA-T87 top plate, and vibration on the top plate was confirmed to be attenuated relative to the floor on every axis. Per-axis Autospectrum and VC Curves measured with a B&K Front End Type 3050-A-040 and a PCB 393B05 accelerometer are published together with the IEST-RP-CC012.2 vibration criteria reference.
WONIK IPS DVIA-T78 (211213R1) Installation Report
DVIA-T78 (serial 211213R1) installation report for WONIK IPS Jinwi site, 4F wafer analysis lab. Re-tuning and vibration measurement on December 12, 2025, with Bruker Nano Indentation tester TS77 on the isolator. Overview notes a return visit due to high vibration against Bruker self-test criteria; conclusion confirms good isolator performance in all directions while Bruker cited rubber pillars below the tool and planned equipment modification with headquarters. UI plots: VC curves, autospectra, and transmissibility by axis. Reference publishes the standard VC criteria table.
Shanghai Opotong Instruments COXEM EM 40 DVIA-T56 (260202R1-6) Re-Tuning Report
DVIA-T56 re-tuning report (reference 260202R1-6) for a COXEM Tabletop SEM EM 40 at Shanghai Opotong Instruments Co., Ltd., Shanghai, China. Overview documents re-tuning due to active vibration oscillation. Vibration Specification shows N/A with the engineer explanatory note verbatim; tuning trial and tuning request match the report. Equipment condition wording is unchanged from the report. Measurement summary compares floor versus DVIA-T56 with equipment turned on. Measurement Data Obtained via UI Program publishes VC curves, Autospectrum, and Transmissibility for vertical, left-to-right, and front-to-back axes. Includes the equipment photograph from the reference report. Reference uses the standard Generic Vibration Criteria markdown table only (Word Reference EMF omitted). Decorative header imagery before the title block is omitted from the public page.
Shuyu Industrial SCINCO STA 1000 DVIA-T56 (250102R2-2) Re-Tuning Report
DVIA-T56 re-tuning report (serial 250102R2) for SCINCO STA 1000 at Shuyu Industrial Co., Ltd. Overview documents re-tuning due to active vibration oscillation. Vibration specification and tuning request read N/A; equipment condition matches the report wording. Measurement summary compares floor versus DVIA-T56 under turned-on equipment state. Measurement Data Obtained via UI Program publishes VC curves, Autospectrum, and Transmissibility for vertical, left-to-right, and front-to-back axes. Equipment photography was not permitted on site. Reference uses the standard Generic Vibration Criteria markdown table only (Word Reference EMF omitted). Decorative header strip before the title block is omitted from the public page.