Tier-1 Semiconductor 이천 OLYMPUS 현미경 MX63L DVIA-T78(260819S1) 설치 보고서
Contents
작성자
박규민 · DAEIL SYSTEMS
설치 날짜
2026.09.01
보고서 작성일
2026.09.03
개요
Tier-1 Semiconductor 이천사업장 P&T4 1층 연구실에 DVIA-T78 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-T78
시리얼 넘버: 260819S1
엔지니어
김태헌, 박규민, 김영욱 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.01
설치 장소
Tier-1 Semiconductor 이천사업장 P&T4 1층 연구실
End User
Tier-1 Semiconductor
고객사 장비
제조사: OLYMPUS
장비명: Microscope
모델: MX63L
진동 스펙
-
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
본 진동 측정 및 데모 테스트는 이천사업장 P&T4 1층 연구실 내 타 장비로부터 유입되는 진동이 OLYMPUS 현미경(MX63L)에 미치는 영향을 파악하고, 당사 액티브 제진대(DVIA-T) 적용 시의 진동 감쇠 효과를 검증하기 위해 진행되었습니다.
기존 환경 : 해당 상부 장비의 명확한 진동 허용 스펙은 부재한 상태이나, 장비 운용 시 현미경 이미지 해상도가 저하되고 흔들림(노이즈)이 발생하는 현상이 확인되어 현재 사용 중인 수동형(Passive) 제진대를 통한 장비사용환경 개선 효과는 충분하지 않은 것으로 확인되었습니다.
DVIA-T(Active 제진대) 적용 후 개선 효과: 당사 액티브 제진대 DVIA-T 모델을 적용하여 데모 테스트를 진행한 결과, 3축(X, Y, Z) 모든 방향에서 진동이 VC-D ~ VC-E 수준으로 안정화되었습니다. 특히, DVIA-T 적용 후 실제 현미경 이미지를 확인한 결과 기존에 발생하던 이미지 흔들림 및 노이즈가 완전히 사라져 선명하고 안정적인 해상도를 확보하는 것을 확인하였습니다.
측정 데이터 요약
Demo Test 1 (Desk / DVIA-T)
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-T | |||
| 1. Desk 2. DVIA-T | - | 수직(Z-axis) | Operating Theatre (ISO) | VC-E |
| 좌우(X-axis) | Residential Area (ISO) | VC-E | ||
| 전후(Y-axis) | VC-A | VC-D | ||
Demo Test2 (Desk / DVIA-T)
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-T | |||
| 1. Desk 2. DVIA-T | - | 수직(Z-axis) | Residential Area (ISO) | VC-D |
| 좌우(X-axis) | VC-A | VC-E | ||
| 전후(Y-axis) | Residential Area (ISO) | VC-E | ||
진동측정1 (바닥 / Passive 제진대 상판)
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-T | |||
| 1. 바닥 2. ✓ Passive 제진대 상판 | - | 수직(Z-axis) | VC-C | Residential Area (ISO) |
| 좌우(X-axis) | VC-A | VC-A | ||
| 전후(Y-axis) | Operating Theatre (ISO) | Residential Area (ISO) | ||
진동측정2 (Desk / Passive 제진대 상판)
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-T | |||
| 1. Desk 2. ✓ Passive 제진대 상판 | - | 수직(Z-axis) | Operating Theatre (ISO) | VC-A |
| 좌우(X-axis) | VC-A | VC-A | ||
| 전후(Y-axis) | Operating Theatre (ISO) | VC-A | ||
측정 데이터
Demo Test 1
Demo Test 1 — 수직(Z-axis) Autospectrum
Demo Test 1 — 수직(Z-axis) VC Curves
Demo Test 1 — 좌우(X-axis) Autospectrum
Demo Test 1 — 좌우(X-axis) VC Curves
Demo Test 1 — 전후(Y-axis) Autospectrum
Demo Test 1 — 전후(Y-axis) VC Curves
Demo Test2
Demo Test2 — 수직(Z-axis) Autospectrum
Demo Test2 — 수직(Z-axis) VC Curves
Demo Test2 — 좌우(X-axis) Autospectrum
Demo Test2 — 좌우(X-axis) VC Curves
Demo Test2 — 전후(Y-axis) Autospectrum
Demo Test2 — 전후(Y-axis) VC Curves
진동측정1
진동측정1 — 수직(Z-axis) Autospectrum
진동측정1 — 수직(Z-axis) VC Curves
진동측정1 — 좌우(X-axis) Autospectrum
진동측정1 — 좌우(X-axis) VC Curves
진동측정1 — 전후(Y-axis) Autospectrum
진동측정1 — 전후(Y-axis) VC Curves
진동측정2
진동측정2 — 수직(Z-axis) Autospectrum
진동측정2 — 수직(Z-axis) VC Curves
진동측정2 — 좌우(X-axis) Autospectrum
진동측정2 — 좌우(X-axis) VC Curves
진동측정2 — 전후(Y-axis) Autospectrum
진동측정2 — 전후(Y-axis) VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
3. 이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
