WONIK IPS DVIA-T78 (211213R1) Installation Report
Contents
엔지니어
엔지니어: 이채원
설치 날짜
2026년 4월 29일
보고서 작성일
2026년 5월 4일
개요
원익 IPS 진위사업장 4F Wafer 분석실에 설치된 DVIA-T78 점검 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-T78
시리얼 넘버: 211213R1
필드 엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2026년 4월 29일
설치 장소
원익 IPS 진위사업장 4F Wafer 분석실
End User
원익 IPS
고객사 장비
Manufacturer: Bruker
Equipment: Nano Indentation tester
Model: TS77
장비 스펙
N/A
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
현장 점검 결과, DVIA-T78 제진대는 전반적으로 매우 양호한 성능을 나타내고 있었습니다. 모든 방향에서 2 Hz 이후 90% 이상의 제진 성능을 보였으며, 이를 통해 제진대 자체는 정상적으로 작동하고 있음을 확인하였습니다.
Bruker 社 엔지니어와 협업하여 TS77 장비 이미지에 노이즈가 발생하는 순간의 바닥 진동과 제진대 상부 진동 변화를 확인하였습니다. 측정 결과, 이미지 노이즈가 발생하는 시점에 바닥 진동과 DVIA-T78 상부 진동이 모두 1 – 10 Hz 대역에서 평상시보다 높은 수준으로 증가하는 것을 확인하였습니다.
다만, 해당 시점에서도 DVIA-T78은 VC-B, C 수준의 바닥 진동을 VC-D, E 수준까지 감쇠하고 있었으며, 이는 제진대가 정상적으로 제진 기능을 수행하고 있음을 의미합니다.
따라서 TS77 장비 이미지 노이즈의 주요 원인은 제진대 성능 문제가 아니라, 건물 진동 증가에 따라 제진대 상부 진동 수준이 함께 상승하면서 발생한 것으로 판단됩니다. 즉, 제진대가 바닥 진동을 상당 부분 감쇠하고 있음에도 불구하고, 건물 진동 자체가 증가할 경우 제진대 상부의 진동 수준도 상대적으로 증가할 수 있으며, 이로 인해 장비 이미지 품질에 영향을 미친 것으로 판단됩니다.
장비의 안정적인 운용과 이미지 노이즈 저감을 위해서는 현재 설치 위치보다 바닥 진동이 낮고 안정적인 장소로 장비를 이전 설치하는 것을 권장 드립니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-T78 |
|---|---|---|---|---|
| 원익 IPS 진위사업장 4F Wafer 분석실 1. 바닥진동 2. DVIA-T78 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-A @ 63 Hz | VC-G @ 63 Hz |
| Left to Right | VC-A @ 10 Hz | VC-F @ 10 Hz | ||
| Front to Back | VC-A @ 10 Hz | VC-G @ 10 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
14-2) DVIA-T78 평상시 진동과 Noise 발생 시 진동 비교 Data
평상시 진동 Data
Noise 발생 시 진동 Data
참고자료
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
