DVIP-B 베이스형 공압식 제진대
DVIP 시리즈는 대형기기나 고중량 장비의 제진에 적합한 맞춤형 고성능 공압식 제진대입니다. 탑재기기의 형상, 중량, 무게중심 등 장비사양에 맞는 맞춤형 엔지니어링 솔루션을 제공합니다. 일반적인 고중량 장비의 경우 Base Platform을 사용합니다.
특징
전자현미경 최적화 (SEM/TEM)
낮은 공진 주파수(1.2-3.0 Hz)로 설계되어 전자빔 안정성을 방해하는 특정 저주파 바닥 진동을 목표로 하여 중화시킵니다. 이러한 강력한 감쇠 기능은 나노미터 스케일에서 이미지 선명도와 해상도를 보존합니다.
맞춤형 장비 인터페이스
측정 도구와 전자현미경은 설치 면적과 질량 분포가 크게 다릅니다. 특정 장비의 정확한 치수, 무게 및 캐스터 포인트에 맞춰 DVIP-B 섀시를 맞춤 설계하여 구조적 돌출이나 불안정성을 제거하고 원활하고 견고한 통합을 보장합니다.
높은 무게중심 안정성
전자현미경 컬럼은 종종 높고 상부가 무겁습니다. DVIP-B는 구조적으로 최적화되어 높은 무게중심을 관리하며, "흔들림"을 방지하고 정밀한 빔 초점 및 시료 조작에 필요한 수직 정렬을 유지하는 견고한 플랫폼을 제공합니다.
고중량 장비용 높은 하중 용량
진공 챔버 및 전자기 컬럼의 상당한 무게를 지탱하도록 설계된 DVIP-B는 400kg에서 6,000kg까지의 하중을 수용합니다. 높은 강성 구조는 정적 처짐이 없음을 보장하여 고중량 측정 자산을 위한 견고하고 확고한 베이스를 제공합니다.
초정밀 레벨링 제어
완벽한 수평면 유지는 광학 정렬에 필수적입니다. 시스템은 ±0.05mm의 반복 정밀도를 가진 정밀 레벨링 밸브를 제공하여 스테이지 이동이나 하중 변화 중에도 현미경이 컬럼 축에 대해 완벽하게 수평을 유지하도록 보장합니다.