DVIA-ML Series
액티브 제어.절대적 고요함.
1Hz에서 6자유도 최대 90% 제진 성능. 이미징이 곧 지식인 전자현미경을 위한 설계.1Hz에서 6자유도 최대 90% 제진 성능. 이미징이 곧 지식인 전자현미경을 위한 설계.
하이엔드 전자현미경을 위한 완벽한 액티브 제어 시스템
DVIA-ML은 진동을 단순히 줄이는 데 그치지 않습니다. 아예 지워버리죠. 고감도 센서가 0.3 Hz의 미세한 바닥 진동까지 감지하고, 적응형 알고리즘이 0.5 ms 만에 반응합니다. 전자기 액추에이터가 정확히 반대 방향의 힘을 생성해, 이미지는 매 순간 완벽하게 유지됩니다.DVIA-ML은 진동을 단순히 줄이는 데 그치지 않습니다. 아예 지워버리죠. 고감도 센서가 0.3 Hz의 미세한 바닥 진동까지 감지하고, 적응형 알고리즘이 0.5 ms 만에 반응합니다. 전자기 액추에이터가 정확히 반대 방향의 힘을 생성해, 이미지는 매 순간 완벽하게 유지됩니다.
세계에서 가장 까다로운 장비들을 위한 완벽한 제진 시스템.세계에서 가장 까다로운 장비들을 위한 완벽한 제진 시스템.
DVIA-ML Series는 지원되는 4개의 핵심 계측 영역 모두에서 VC-B부터 최대 VC-G에 이르는 엄격한 진동 기준을 충족합니다. 측정 환경마다 요구되는 제어 전략은 저마다 다릅니다. 그리고 DVIA-ML Series는 그 모든 환경에 완벽하게 적응합니다.DVIA-ML Series는 지원되는 4개의 핵심 계측 영역 모두에서 VC-B부터 최대 VC-G에 이르는 엄격한 진동 기준을 충족합니다. 측정 환경마다 요구되는 제어 전략은 저마다 다릅니다. 그리고 DVIA-ML Series는 그 모든 환경에 완벽하게 적응합니다.
SEM
Scanning Electron Microscope
드리프트 없는 나노 표면 이미징
50,000배 이상의 고배율 환경에서는 미세한 바닥 진동만으로도 이미지에 드리프트나 흐림 현상이 발생합니다. DVIA-ML은 0.5Hz의 진동부터 원천 차단하여, 전자빔을 목표물에 정확히 고정시키고 아티팩트 없는 무결점 SEM 이미징을 구현합니다.50,000배 이상의 고배율 환경에서는 미세한 바닥 진동만으로도 이미지에 드 리프트나 흐림 현상이 발생합니다. DVIA-ML은 0.5Hz의 진동부터 원천 차단 하여, 전자빔을 목표물에 정확히 고정시키고 아티팩트 없는 무결점 SEM 이미 징을 구현합니다.
지원 제조사
Thermo Fisher · Zeiss · JEOL · Tescan · Hitachi · CIQTEK
TEM
Transmission Electron Microscope
원자 단위 분해능. 기계적 노이즈 제로.
HRTEM 및 STEM 모드는 서브 옹스트롬(Sub-angstrom) 수준의 극한의 안정성을 요구합니다. 사람이 느낄 수 없는 건물의 미세한 진동조차 격자무늬(Lattice fringe)의 대비를 무너뜨릴 수 있죠. DVIA-ML은 이러한초정밀 기기에 필수적인 완벽한 물리적 침묵을 선사합니다.HRTEM 및 STEM 모드는 서브 옹스트롬(Sub-angstrom) 수준의 극한 의 안정성을 요구합니다. 사람이 느낄 수 없는 건물의 미세한 진동조차 격 자무늬(Lattice fringe)의 대비를 무너뜨릴 수 있죠. DVIA-ML은 이러한 초정밀 기기에 필수적인 완벽한 물리적 침묵을 선사합니다.
지원 제조사
Thermo Fisher · JEOL · Hitachi · Tescan · CIQTEK
XRM
X-Ray Metrology
정밀 회절. 깨끗한 피크.
X-Ray선 회절, 반사율 측정, 형광 분석 모두 시료가 흔들림 없이 완벽히 고정되어야만 합니다. 저주파 진동은 회절 피크를 넓게 흩트리고 박막 측정 데이터를 왜곡시키죠. DVIA-ML은 데이터 본연의 무결성을 완벽하게 복원합니다.X-Ray선 회절, 반사율 측정, 형광 분석 모두 시료가 흔들림 없이 완벽히 고정되어 야만 합니다. 저주파 진동은 회절 피크를 넓게 흩트리고 박막 측정 데이터를 왜곡 시키죠. DVIA-ML은 데이터 본연의 무결성을 완벽하게 복원합니다.
지원 제조사
Bruker · Zeiss
EBL
E-Beam Lithography
정밀 리소그래피. 완벽한 패턴.
전자빔 리소그래피 작업 역시 시료의 완벽한 정지 상태가 절대적입니다. 저주파진동은 빔 드리프트를 유발해 선 가장자리 거칠기(LER)를 증가시키고 나노 스케일의 패턴을 어그러뜨리죠. DVIA-ML은 한 치의 오차 없는 패턴 전사와 구조적무결성을 보장합니다.전자빔 리소그래피 작업 역시 시료의 완벽한 정지 상태가 절대적입니다. 저주파 진동은 빔 드리프트를 유발해 선 가장자리 거칠기(LER)를 증가시키고 나노 스케 일의 패턴을 어그러뜨리죠. DVIA-ML은 한 치의 오차 없는 패턴 전사와 구조적 무결성을 보장합니다.
지원 제조사
Raith · JEOL
NMR
Nuclear Magnetic Resonance
마그넷 보호. 스펙트럼 보존.
600–1200MHz 대역의 초전도 자석은 건물의 미세한 흔들림에도 극도로 민감합니다. 바닥의 움직임은 심(Shim) 안정성과 스펙트럼 해상도를 급격히 떨어뜨리죠. 304 Stainless Steel로 커스텀 제작하는 DVIA-ML은 모든 주파수 대역의 바닥 진동으로부터 자석 어셈블리 전체를 완벽하게 분리해 냅니다.600–1200MHz 대역의 초전도 자석은 건물의 미세한 흔들림에도 극도로 민감 합니다. 바닥의 움직임은 심(Shim) 안정성과 스펙트럼 해상도를 급격히 떨어뜨 리죠. 304 Stainless Steel로 커스텀 제작하는 DVIA-ML은 모든 주파수 대역 의 바닥 진동으로부터 자석 어셈블리 전체를 완벽하게 분리해 냅니다.
지원 제조사
Bruker · Jeol
DVIA-ML 설치영상
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피드백은 보정하고. 피드포워드는 예측한다.
피드백은 장비의 흔들림을 측정해 실시간으로 상쇄합니다. 피드포워드는 바닥의 움직임을 한발 먼저 읽어내어, 진동이 도착하기도 전에 지워버리죠. 이 두 기술이 만나 완성한 전례 없는 저주파 제진 퍼포먼스. 이제 당신의 장비는 마치 애초에 진동이란 존재하지 않았던 것처럼, 완벽한 고요 속에서 작동합니다.
작동 원리
패시브 제어 (스프링 & 댐퍼):
액티브 제어 시스템 없이 스프링(k)과 댐퍼에만 의존한다면 어떨까요. 어떻게든 충격을 흡수하려 애쓰겠지만, 치명적인 저주파 대역에서는 오히려 바닥의 진동을 증폭시켜 장비 전 체를 요동치게 만드는 공진을 일으키고 맙니다.
피드포워드 제어:
지면 센서의 데이터를 활용해 액추에이터에 선제적인 명 령을 내립니다. 바닥에서 올라오는 진동이 소중한 장비에 채 닿기도 전에, 그 진동을 원천적으로 무효화해 버리죠.
피드백 제어:
장비에 아주 미세하게 남아있는 잔여 진동(y)마저 끊임없이 추적합니다. 그리고 즉각적으로 반응하는 액추에이터가 남 은 흔들림조차 실시간으로 완벽히 진동을 상쇄합니다.
두 개의 진보된 제어 기술이 하나로 맞물리는 순간, 제진 성능은 전혀 다른 차원으로 나아갑니다. 초정밀 장비는 어떤 환경 속에서도, 진동의 흔적조차 남기지 않습니다.
시스템 제어
토글을 전환해 보세요. 피드백과 피드포워드 시스템이 저주파 진동을 어떻게 마법처럼 지워내는지 직접 눈으로 확인하실 수 있습니다.
바닥 진동
저주파 진동 시뮬레이션
피드포워드 제어
선제적 플로어 센싱
피드백 제어
반응형 상쇄
모든 것을 압도하다.
0.5Hz부터 시작되는 제진.
사용자 인터페이스.모니터링. 기록. 그리고 투명한 데이터 검증.사용자 인터페이스. 모니터링. 기록. 그리고 투명한 데이터 검증.
DVIA-ML의 UI는 6개 축 모두의 실시간 진동 수준, 액추에이터 반응, 센서 출력값을 직관적으로 보여줍니다. 모든 데이터는 자동으로 기록되죠. 언제든 과거의 트렌드를 분석하고, 리포트를 내보내거나, 제진 성능을 직접 검증해 보십시오.
제진 성능
오토 스펙트럼
VC Curves
센서 및 액추에이터
단 하나의 현미경. 완벽히 맞춰진 플랫폼.
모든 전자현미경은 저마다의 고유한 스펙과 디자인을 가집니다. DVIA-ML은 오직 그 장비에 완벽히 맞춰지도록 설계됩니다.전문 엔지니어가 장비의 사양, 바닥의 상태, 시설의 제약 조건 등을 꼼꼼히 검토합니다. 크기, 하중 분산, 마운팅 인터페이스, 하중 전달 경로 및 케이블 라우팅까지, 제조에 들어가기 전 이 모든 세부 사항이 완벽하게 구성됩니다.모든 전자현미경은 저마다의 고유한 스펙과 디자인을 가집니다. DVIA-ML은 오직 그 장비에 완벽히 맞춰지도록 설계됩니다. 전문 엔지니어가 장비의 사양, 바닥의 상태, 시설의 제약 조건 등을 꼼꼼히 검토합니다. 크기, 하중 분산, 마운팅 인터페이스, 하중 전달 경로 및 케이블 라우팅까지, 제조에 들어가기 전 이 모든 세부 사항이 완벽하게 구성됩니다.
Glacios 2
Thermo Fisher Scientific
Tecnai TF20
Thermo Fisher Scientific
Krios G4
Thermo Fisher Scientific
Spectra
Thermo Fisher Scientific
사양
DVIA-ML1000
DVIA-ML3000
DVIA-ML6000
치수
맞춤 설계
최대 적재 하중
1500kg
3000kg
6000kg
제진 성능 · PERFORMANCE
액티브 제어 메커니즘
피드백 + 피드포워드 제어
자유도
6 DOF (X, Y, Z, θx, θy, θz)
액티브 대역
0.5 – 200 Hz
제진 성능
1 Hz에서 80 – 90%
시스템 구성 · SYSTEM
액추에이터
전자기식
최대 추력
수직 40 N · 수평 20 N
수직 40 N · 수평 20 N
수직 80 N · 수평 40 N
진동 센서
지오폰 · 감도 2.55 V/in/s (100.4 V/m/s) ± 10%
레벨링 정밀도
± 0.1 mm
응답 시간
< 0.5 ms
컨트롤러
내장형 / 외장형
설치 조건 · INSTALLATION
인증
CE · TÜV
전원
100 – 260 V AC · 50/60 Hz
100 – 260 V AC · 50/60 Hz
100 – 240 V AC(단상) · 100 W
공압
4 – 6 bar · 유량 10 L/min
4 – 6 bar · 유량 10 L/min
5 – 6 bar · 유량 250 L/min
작동 환경
온도 5 – 50 °C · 습도 20 – 90%
도입사례
세계 최고 수준의 반도체·항공우주·연구 시설이 선택한 기술.모든 시스템은 설치 현장에서 측정되고 검증됩니다.세계 최고 수준의 반도체·항공우주·연구 시설이 선택한 기술. 모든 시스템은 설치 현장에서 측정되고 검증됩니다.
YIMOTECH Hitachi SU8600 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
YIMOTECH Hitachi High-Tech SU8600 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Wuxi(우시)에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤 장비가 IDLE 상태에서 튜닝·진동 측정을 수행했습니다. 수평·수직 허용 진동 사양 기준으로 수직·좌우·전후 전 축에서 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 PASS했습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 축별 Autospectrum, 설치 사진을 게시합니다.
YIMOTECH Yidon Technologies YF-1801 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
YIMOTECH Yidon Technologies YF-1801 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Suzhou(쑤저우)에 설치 후(End User: Yidong Optical Technology), 장비가 IDLE 상태에서 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 튜닝·측정했으며 수직·좌우·전후 전 축에서 DVIA-ML1000 플랫폼이 VC-G를 달성했습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 축별 Autospectrum·VC Curves, 설치 사진을 게시합니다.
Ansteel Iron and Steel Research Institute Thermo Scientific Talos TEM DVIA-ML3000(251125R4) 설치 보고서
중국 안산 Ansteel Iron and Steel Research Institute 현장 DVIA-ML3000(S/N 251125R4)·Thermo Scientific Talos TEM 설치 보고서(YIMO TECH 공급). 튜닝 요청서와 UI 프로그램 기준 수직·좌우·전후 VC Curves, 현장 설치 사진을 게시. 진동 사양은 1-100 Hz 구간에서 수평 1.56 µm/s RMS·수직 3.12 µm/s RMS이며, 측정 요약의 진동 사양 열은 See Section 9로 세 축 모두 바닥 FAIL·DVIA-ML3000 플랫폼 PASS.
YOUSHIZE TECH ZEISS GeminiSEM 360 FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
YOUSHIZE TECH ZEISS GeminiSEM 360 FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Yancheng에 설치 후(End User: Yancheng High-tech Zone), 장비가 IDLE 상태에서 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 튜닝·측정했으며 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 수직·좌우·전후 전 축에서 PASS. 튜닝 요청서, 진동 사양, 축별 Autospectrum, 설치 사진을 게시.
YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
YIMO TECH Thermo Fisher Scientific Apreo 2S SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 Shizuishan에 설치 후(End User: Ningxia Orient Tantalum Industry Co. Ltd.), DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼이 VC-F 진동 사양을 만족(바닥은 수직·좌우·전후 전 축에서 FAIL, DVIA-ML1000 플랫폼은 전 축 PASS). 튜닝 요청서, 축별 VC Curves, 설치 사진을 게시.
Biel Crystal Manufactory Limited Raith EBPG5200 Plus E-Beam 리소그래피 DVIA-ML3000S(260406R2-1) 설치 보고서
중국 후이양 Biel Crystal Manufactory Limited 현장 DVIA-ML3000S(S/N 260406R2-1)·Raith EBPG5200 Plus E-Beam 리소그래피 설치 보고서(YIMO TECH 공급). 튜닝 요청서와 UI 프로그램 기준 수직·좌우·전후 Autospectrum 데이터를 게시. 진동 사양은 1 Hz에서 8 µm/s RMS, 100 Hz에서 12.5 µm/s RMS이며(수평·수직 동일), 측정 요약의 진동 사양 열은 See Section 9로 세 축 모두 바닥과 DVIA-ML3000S 플랫폼에서 PASS.