Quantum Photonics Research Laboratory attocube attoDRY1000/SU Cryostat DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
Quantum Photonics Research Laboratory(덴마크 코펜하겐)에 DVIA-ML1000 능동 제진 시스템(비자성 커버, 외부 컨트롤러)을 설치한 후 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.
고객 크리오스타트를 상판에 안착시킨 상태에서 전원을 꺼 놓고 외부 진동 간섭을 최소화한 채 설치 후 제진대를 검증했습니다. 제진대 상판 진동은 전 축에서 고객이 요구한 VC-E를 충족했습니다.
데이터는 VC 곡선, Autospectrum, Transfer rate로 제시하며, 진동 수준에 대한 참고 자료도 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000 (비자성 커버, 1300 × 750 × 173H mm, 외부 컨트롤러)
엔지니어
Kyeongdan Kim · 대일시스템
설치 날짜
2026.09.22 – 23
보고서 작성일
2026.10.05
튜닝 날짜
2026.09.22
설치 장소
Copenhagen, Denmark
End User
Quantum Photonics Research Laboratory, Copenhagen, Denmark
고객사 장비
제조사: attocube systems AG
장비: Closed-cycle cryostat (pulse-tube, top-loading)
모델: attoDRY1000/SU
진동 스펙
VC-E (3.12 µm/s, 1/3-octave bands, 1–80 Hz, all axes)
— 고객이 VC-E 레벨의 바닥에서 측정했을 때 화질에 문제가 없었다는 경험에 기반해 정한 수준입니다.
장비 제조사 사양이 아니라 고객이 요구한 조건입니다.
VC 기준 곡선과 등급별 수치는 14절 참고자료에 제시되어 있습니다.
장비 상태
크리오스타트를 광학 브레드보드가 설치된 채 제진대 상판에 안착시킨 상태. 크리오스타트 전원 꺼짐, 헬륨 컴프레서 정지. 서비스 유닛 캐비닛으로 가는 헬륨 플렉스 라인만 연결되어 있습니다.
측정 도구 및 설정
측정 장비
| 항목 | UI (제진대 내장 센서) |
|---|---|
| 장비 · 소프트웨어 | DVIA-ML1000 컨트롤러 · DAEIL SYSTEMS Tuning Software DVIA-ML/ULF (6 DOF) Ver 2.0.2 |
| 센서 | 제진대 내장 속도 센서 (Top / Bottom) |
| 채널 | Top = 제진대 상판 Bottom = 제진대 베이스 |
측정 설정
| 항목 | UI |
|---|---|
| 주파수 범위 | 샘플링 714.2 Hz · 주파수 범위 250 Hz |
| FFT / 윈도우 | FFT 4096 · Hanning |
| 평균 횟수 | 100 · 오버랩 99 % |
| 측정 단위 | m/s RMS |
축 정의
| 축 | 방향 |
|---|---|
| X | 제진대 장변 방향 (1300 mm) |
| Y | 단변 방향 (750 mm) |
| Z | 수직 |
결론
2026.09.22 인수 검사 조건(a-0)에서 DVIA-ML1000 상판의 진동은 Z축 VC-G, X축 VC-G, Y축 VC-E로, 전 축에서 고객이 요구한 VC-E를 충족했습니다. 같은 시점 베이스는 Z축 VC-C, X축 VC-F, Y축 VC-F를 기록했습니다.
따라서 DVIA-ML1000의 설치 및 튜닝은 고객의 요구 조건을 충족합니다.
측정 데이터 요약
등급은 1–80 Hz 구간의 최대 1/3-octave 값에 기반합니다.
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 데이터 | 결과 (상판) | |
|---|---|---|---|---|---|
| 베이스 | DVIA-ML1000 상판 | ||||
| 1. 베이스 2. DVIA-ML1000 상판 | VC-E | Vertical (Z) | VC-C | VC-G | ✓ PASS |
| Left–Right (X) | VC-F | VC-G | ✓ PASS | ||
| Front–Back (Y) | VC-F | VC-E | ✓ PASS | ||
측정 데이터
a-0: 09.22 튜닝 후 UI 측정 (Active).
축별로 한 페이지 — VC 곡선 / Autospectrum / Transfer rate. 파란색 = Top (상판), 빨간색 = Bottom (베이스).
Left–Right (X, long side 1300 mm)
a-0 – X – VC Curves (Top = top plate, Bottom = base)
a-0 – X – Autospectrum
a-0 – X – Transfer rate (gain dB · time waveform)
Front–Back (Y, short side 750 mm)
a-0 – Y – VC Curves (Top = top plate, Bottom = base)
a-0 – Y – Autospectrum
a-0 – Y – Transfer rate (gain dB · time waveform)
Vertical (Z)
a-0 – Z – VC Curves (Top = top plate, Bottom = base)
a-0 – Z – Autospectrum
a-0 – Z – Transfer rate (gain dB · time waveform)
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
