DVIA-M Series
빌트인 시스템.완벽한 이미징.
전자현미경에 완벽하게 통합되는 설계.
초정밀 전자현미경과 나노 계측 장비를 위한 세계 최고 수준의 빌트인 액티브 제어 시스템. 흔들림을 지배하는 보이지 않는 힘이, 당신의 거대한 장비 속에 완벽하게 스며듭니다.초정밀 전자현미경과 나노 계측 장비를 위한 세계 최고 수준의 빌트인 액티브 제어 시스템. 흔들림을 지배하는 보이지 않는 힘이, 당신의 거대한 장비 속에 완벽하게 스며듭니다.
가장 까다로운 현미경을 위한 통합 솔루션.가장 까다로운 현미경을 위한 통합 솔루션.
가장 엄격한 진동 허용 기준인 VC-G를 거뜬히 충족하며, 지원하는 모든 초정밀 현미경 카테고리에서 완전히 새로운 표준을 제시합니다. 기기마다 완벽을 위해 요구하는 제어의 기준은 저마다 다릅니다. 그리고 DVIA-M은, 그 모든 까다로운 조건에 완벽하게 맞춰지도록 맞춤 설계(Bespoke)됩니다.가장 엄격한 진동 허용 기준인 VC-G를 거뜬히 충족하며, 지원하는 모든 초정밀 현미경 카테고리에서 완전히 새로운 표준을 제시합니다. 기기마다 완벽을 위해 요구하는 제어의 기준은 저마다 다릅니다. 그리고 DVIA-M은, 그 모든 까다로운 조건에 완벽하게 맞춰지도록 맞춤 설계(Bespoke)됩니다.
SEM
Scanning Electron Microscope
드리프트 없는 나노 표면 이미징
50,000배 이상의 초고배율 뷰에서, 미세한 바닥 진동은 곧 치명적인 이미지 왜곡(Drift)과 번짐(Blur)으로 이어집니다. DVIA-M은 0.5Hz의 극저주파 진동부터 완벽히 지워냅니다. 전자빔을 타겟에 한 치의 오차 없이 고정시켜, 단 하나의아티팩트도 허락하지 않는 무결점 SEM 이미징을 완성하죠.50,000배 이상의 초고배율 뷰에서, 미세한 바닥 진동은 곧 치명적인 이미지 왜 곡(Drift)과 번짐(Blur)으로 이어집니다. DVIA-M은 0.5Hz의 극저주파 진동부 터 완벽히 지워냅니다. 전자빔을 타겟에 한 치의 오차 없이 고정시켜, 단 하나의 아티팩트도 허락하지 않는 무결점 SEM 이미징을 완성하죠.
지원 제조사
Thermo Fisher · ZEISS · JEOL · TESCAN · Hitachi · CIQTEK
TEM
Transmission Electron Microscope
원자 단위 분해능. 기계적 노이즈 제로.
HRTEM 및 STEM 모드는 서브 옹스트롬(Sub-angstrom) 수준의 경이로운 기계적 안정성을 요구합니다. 건물의 미세한 진동은 인간의 감각으론 느낄 수조차 없지만, 격자무늬(Lattice fringe)의 선명한 대비를 무너뜨리기엔 충분하죠. DVIA-M은 이 예민한 장비들이 그토록 갈망하는 절대적인 '기계적 침묵'을 선사합니다.HRTEM 및 STEM 모드는 서브 옹스트롬(Sub-angstrom) 수준의 경이로운 기계적 안정성을 요구합니다. 건물의 미세한 진동은 인간의 감각으론 느낄 수 조차 없지만, 격자무늬(Lattice fringe)의 선명한 대비를 무너뜨리기엔 충분 하죠. DVIA-M은 이 예민한 장비들이 그토록 갈망하는 절대적인 '기계적 침 묵'을 선사합니다.
지원 제조사
Thermo Fisher · JEOL · Hitachi · TESCAN · CIQTEK
AFM
Atomic Force Microscope
피코미터 토포그래피. 프로브 팁의 완벽한 정밀도.
AFM은 캔틸레버 팁과 샘플 간의 물리적 접촉으로 지형을 읽어냅니다. 아주 미세한 찰나의 흔들림조차 모두 치명적인 측정 노이즈가 되죠. 옹스트롬 이하의 압도적인 탐침 감도 앞에서는 건물 진동이 가장 거대한 오차의 원인입니다. DVIA-M은 바닥이라는 노이즈의 근원을 원천적으로 지워버립니다. 캔틸레버가 오직샘플의 표면만을 온전히 느낄 수 있도록.AFM은 캔틸레버 팁과 샘플 간의 물리적 접촉으로 지형을 읽어냅니다. 아주 미 세한 찰나의 흔들림조차 모두 치명적인 측정 노이즈가 되죠. 옹스트롬 이하의 압 도적인 탐침 감도 앞에서는 건물 진동이 가장 거대한 오차의 원인입니다. DVIA- M은 바닥이라는 노이즈의 근원을 원천적으로 지워버립니다. 캔틸레버가 오직 샘플의 표면만을 온전히 느낄 수 있도록.
지원 제조사
Bruker · Semilab · Oxford Instruments
모든 것을 압도하다.
0.5Hz부터 제어.
피드백은 보정하고. 피드포워드는 예측한다.
피드백은 장비의 흔들림을 측정해 실시간으로 상쇄합니다. 피드포워드는 바닥의 움직임을 한발 먼저 읽어내어, 진동이 도착하기도 전에 지워버리죠. 이 두 기술이 만나 완성한 전례 없는 저주파 제진 퍼포먼스. 이제 당신의 장비는 마치 애초에 진동이란 존재하지 않았던 것처럼, 완벽한 고요 속에서 작동합니다.
작동 원리
패시브 제어 (스프링 & 댐퍼):
액티브 제어 시스템 없이 스프링(k)과 댐퍼에만 의존한다면 어떨까요. 어떻게든 충격을 흡수하려 애쓰겠지만, 치명적인 저주파 대역에서는 오히려 바닥의 진동을 증폭시켜 장비 전 체를 요동치게 만드는 공진을 일으키고 맙니다.
피드포워드 제어:
지면 센서의 데이터를 활용해 액추에이터에 선제적인 명 령을 내립니다. 바닥에서 올라오는 진동이 소중한 장비에 채 닿기도 전에, 그 진동을 원천적으로 무효화해 버리죠.
피드백 제어:
장비에 아주 미세하게 남아있는 잔여 진동(y)마저 끊임없이 추적합니다. 그리고 즉각적으로 반응하는 액추에이터가 남 은 흔들림조차 실시간으로 완벽히 진동을 상쇄합니다.
두 개의 진보된 제어 기술이 하나로 맞물리는 순간, 제진 성능은 전혀 다른 차원으로 나아갑니다. 초정밀 장비는 어떤 환경 속에서도, 진동의 흔적조차 남기지 않습니다.
시스템 제어
바닥 진동
저주파 진동 시뮬레이션
피드포워드 제어
선제적 플로어 센싱
피드백 제어
반응형 상쇄
나노스케일 정밀도를 위한
모든 세부 사항의 완벽한 설계.
1단계: 원신호 입력
극미세 진동이 센서에 포착됩니다. 진폭이 매우 낮기 때문에 주변 노이즈에 묻히기 쉽습니다.
2단계: 하드웨어 증폭
DVIA-M 유닛이 아날로그 게인을 적용하여 전체 신호를 증폭합니다. 원하는 저주파 파형과 고주파 노이즈가 모두 증폭됩니다.
3단계: 소프트웨어 필터링
첨단 디지털 알고리즘이 0.3 Hz까지의 주파수만을 분리하여 유지하고, 노이즈를 완전히 제거하여 깨끗하고 판독 가능한 사인파를 남깁니다.
0.3 Hz부터 감지.
하드웨어 앰프가 저주파 게인을 끌어올리고, 디지털 필터가 신호를 섬세하게 다듬어냅니다. 이 완벽한 조화가 0.3 Hz라는 극한의 초저주파 대역까지 감지와 제진 성능을 확장합니다.
알아채기도 전에, 이미 반응하다.
초당 18억 번의 연산(1800 MFLOPS)을 수행하는 부동소수점 DSP가 진동 데이터를 실시간으로 처리합니다. 시스템의 반응 속도는 단 0.5밀리초(ms). 진동이 현미경에 닿으려 할 때쯤, 그 흔들림은 이미 지워진 지 오래입니다.
보이지 않는 흔들림마저 포착하다.
2.55 V/in/s의 경이로운 감도와 단 0.15%의 왜곡률을 지닌 11개의 지오폰(Geophone) 속도 센서. 다른 시스템이라면 속 수무책으로 놓쳐버릴 초저주파 진동마저 남김없이 잡아냅니다. 무시할 수 없다면, 철저히 지워내야 하니까요.
6축. 타협 없는 제어.
DVIA-M은 6자유도 전체를 제어합니다. 3축 병진, 3축 회전. 보정되지 않는 진동 경로는 없습니다. 알고리즘이 각 축을 독립 적으로 디커플링하여 크로스 커플링을 제거합니다. 서브 마이크 론 병진 안정성과 서브 마이크로라디안 각도 안정성이 동시에 완벽하게 유지됩니다.
자기장 제로. 깊은 침묵.
0.05 μT 미만의 극소 자기장. 전자빔은 아주 작은 자기장 간섭 에도 치명적인 영향을 받습니다. 그래서 DVIA-M은 완벽하게 '자기적 침묵(Magnetically silent)'을 지키도록 설계되었습니 다. 당신의 빔은 한 치의 굴절 없이 뻗어가고, 이미지는 변함없 이 선명할 것입니다.
사용자 인터페이스. 모니터링. 로깅. 데이터 검증.사용자 인터페이스. 모니터링. 로깅. 데이터 검증.
DVIA-M UI는 6축 전체에 걸쳐 실시간 진동 레벨, 액추에이터 응답, 센서 출력을 표시합니다. 모든 데이터는 자동 로깅이 가능합니다. 과거 트렌드 검토, 리포트 내보내기, 또는 사양 대비 아이솔레이션 성능 검증이 언제든 가능합니다. 숨겨진 프로세스도, 블랙박스 알고리즘도 없습니다. 시설 팀이 시스템의 작동 상태, 응답 이유, 그리고 사양 대비 성능을 정확히 확인할 수 있습니다.DVIA-M UI는 6축 전체에 걸쳐 실시간 진동 레벨, 액추에이터 응답, 센서 출력을 표시합니다. 모든 데이터는 자동 로깅이 가능합니다. 과거 트렌드 검토, 리포트 내보내기, 또는 사양 대비 아이솔레이션 성능 검증이 언제든 가능합니다. 숨겨진 프로세스도, 블랙박스 알고리즘도 없습니다. 시설 팀이 시스템의 작동 상태, 응답 이유, 그리고 사양 대비 성능을 정확히 확인할 수 있습니다.
제진 성능
오토 스펙트럼
VC Curves
센서 및 액추에이터
Specifications
사양
- 치수
- 장비 사양에 따른 맞춤 설계
- 최대 적재 하중
- 1500 kg
- 치수
- 장비 사양에 따른 맞춤 설계
- 최대 적재 하중
- 3000 kg
- 액티브 제어 메커니즘
- 피드백 및 피드포워드 제어
- 자유도
- 6 DOF (X, Y, Z, θx, θy, θz)
- 액티브 제진 대역폭
- 0.5 – 200 Hz
- 제진 성능
- 1Hz에서 80 – 90%
- 액추에이터
- 전자기 액추에이터
- 최대 액추에이터 추력
- 수직 40N · 수평 20N
- 진동 센서
- 지오폰 · 감도 2.55 V/in/s (100.4 V/m/s) ± 10%
- 레벨링 반복정밀도
- ± 0.1 mm
- 컨트롤러
- 외장형
- 환경 보호 요구 사항
- CE · TÜV
- 전원 요구 사항
- 100 – 260 V AC · 50/60 Hz
- 공기 요구 사항
- 4 – 6 bar · 유량 10 L/min
- 환경 요구 사항
- 온도 5 – 50 °C · 습도 20 – 90%
현장 검증 완료. 모든 성능 데이터는 통제된 환경에서 측정되었으며, 설치 시 현장에서 다시 확인됩니다. 치수 및 하중 용량은 장비 사양에 맞춰 맞춤 설계됩니다.
도입사례
세계 최고 수준의 반도체·항공우주·연구 시설이 선택한 기술.모든 시스템은 설치 현장에서 측정되고 검증됩니다.세계 최고 수준의 반도체·항공우주·연구 시설이 선택한 기술. 모든 시스템은 설치 현장에서 측정되고 검증됩니다.
YIMOTECH 레조낙 일렉트로닉 머티리얼즈 ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
YIMOTECH ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 광저우(Guangzhou)의 최종 사용자 레조낙 일렉트로닉 머티리얼즈(Resonac Electronic Materials) 현장에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 Turned off 상태로 두고 2차 재튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. Sigma 360의 수평·수직 허용 진동 사양(1~100 Hz, mm/s² RMS) 기준으로 바닥은 수직·전후 축에서 허용치를 넘어 FAIL이었으나, DVIA-ML1000 플랫폼 위에서는 세 축 모두 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프를 게시하며, 현장 정책상 설치 사진 촬영은 허용되지 않았습니다.
YIMO TECH 푸젠이공대학 Hitachi SU7000 SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
YIMO TECH Hitachi High-Tech SU7000 SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 푸저우(Fuzhou) 푸젠이공대학(Fujian University of Technology)에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 IDLE 상태로 두고 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. SU7000의 수평·수직 허용 진동 사양(1~10 Hz, µm pk-pk) 기준으로 바닥과 DVIA-ML1000 플랫폼 모두 수직·좌우·전후 세 축에서 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프, 설치 현장 사진을 함께 게시합니다.
YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서
중국 쑤저우(Suzhou)에 있는 Suzhou National Laboratory(쑤저우 국가실험실, End User)의 Thermo Fisher Scientific Quattro ESEM에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260610R5) 설치 보고서입니다. 납품은 YIMOTECH를 통해 이루어졌으며, 2026.08.19 튜닝을 마친 뒤 장비를 Turned off 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ML1000 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 기준은 수평축 VC-G, 수직축 VC-F입니다. 게시한 VC Curve 그래프를 보면 바닥(base) 곡선은 세 축 모두 SPEC 선을 넘어서지만, DVIA-ML1000 상판(top) 곡선은 1~100Hz 전 대역에서 SPEC 선 아래에 머무릅니다. 즉 실험실의 기존 바닥 진동만으로는 장비 요구 조건을 만족하지 못하지만, DVIA-ML1000이 이를 목표 VC 등급까지 낮춰 준다는 것을 확인할 수 있습니다. 튜닝 요청 작업지시서(调试请求书), UI 프로그램으로 취득한 축별 VC Curve 그래프, 그리고 DVIA-ML1000 위에 설치된 Quattro ESEM의 현장 사진을 함께 게시합니다.
에프에스티(FST) LAZIN LODAS-B18 포토마스크 블랭크 검사장치 DVIF-FB(241001R5) 설치 보고서 — 보강 후 성능 검증
에프에스티(FST) 오산 사업장 3층 클린룸에 설치된 DVIF-FB-1000x2000x3000H 제진대(S/N 241001R5)의 상판 보강 작업 후 성능을 확인하기 위한 진동 측정 보고서입니다. 상부에는 LAZIN LODAS-B18 포토마스크 블랭크 검사장치가 탑재되어 있으며, 장비를 IDLE 상태로 두고 수평·수직 모두 25 µm/s RMS(VC-B) 기준으로 측정하였습니다. 보강 전에는 3축이 모두 기준을 초과했으나, 보강 후 수직(Z)은 27.7 → 17.9 µm/s, 좌우(X)는 70.7 → 22.4 µm/s로 VC-B를 충족하였고, 전후(Y)는 71.0 → 48.0 µm/s로 32.4% 저감되었지만 VC-A 수준에 머물렀습니다. DVIF-FB 상판의 축별 보강 전·후 VC Curves와 상부 장비 Stage에서 측정한 축별 VC Curves를 함께 게시합니다.
YIMO TECH Broadcast and Television Metrology Thermo Fisher Talos FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
중국 우시(Wuxi) Broadcast and Television Metrology 현장에 YIMO TECH를 통해 공급된 Thermo Fisher Scientific Talos FIB-SEM의 DVIA-ML1000 설치 보고서입니다. 2026년 6월 5일 1차 튜닝을 진행했고, 장비를 turned on/IDLE 상태로 둔 채 측정했습니다. 수직 방향에서 바닥은 15.5Hz에서 4.62µm/s RMS였지만 DVIA-ML1000 위에서는 0.11µm/s에 머물렀고, 좌우는 4.5Hz에서 0.71 → 0.14µm/s, 전후는 3.5Hz에서 0.58 → 0.034µm/s로 세 축 모두 바닥과 플랫폼 양쪽에서 PASS했습니다. Thermo Fisher Scientific은 SE-Tools 사이트 서베이 결과로 현장별 진동 요구 조건을 제시하므로 적용 사양은 해당 서베이 리포트를 따릅니다. 튜닝 요청서(작업지시서)와 축별 VC Curves·Autospectrum·Transmissibility 측정 그래프를 함께 게시합니다.
새론테크놀로지 SEMIRON 5000 SEM DVIA-MB1000 설치 보고서
새론테크놀로지 의왕 사업장 506호 연구실에서 자사 SEM인 SEMIRON 5000을 받치고 있는 DVIA-MB1000(S/N 161117R3) 제진대를 점검하고 진동을 측정한 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 둔 채 측정한 결과 바닥은 3축 모두 VC-D 수준이었지만, 제진대 위에서는 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축)가 모두 VC-G까지 떨어져 별도의 재튜닝 없이 그대로 운용할 수 있는 상태로 확인됐습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves와 장비 사진을 함께 게시합니다.