FST LAZIN LODAS-B18 Photomask Blank Inspection System DVIF-FB (241001R5) Installation Report — Post-Reinforcement Performance Verification
Contents
개요
FST 오산 사업장 3층 Clean Room에 DVIF-FB-1000x2000x3000H 보강 작업 후 성능 확인을 위해 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIF-FB-1000x2000x3000H
시리얼 넘버: 241001R5
엔지니어
박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.13
설치 장소
FST 오산사업장 3층 클린룸
End User
FST
고객사 장비
제조사: LAZIN
장비명: 포토마스크 블랭크 검사장치
모델: LODAS-B18
진동 스펙
수평
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 25 |
| 100 | 25 |
수직
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 25 |
| 100 | 25 |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
지난 8월 13일 귀사 담당자 입회하에 FST 오산 사업장 3층 클린룸 DVIF-FB 상판 보강 및 마감 작업 완료 후 진동 측정을 진행하였습니다.
1. 보강 전후 비교
구조 보강 전에는 3축(수직·좌우·전후) 모두 진동 관리 기준인 SPEC(VC-B)을 초과하였으나, 보강 작업 후 수직(Z) 및 좌우(X) 2개 축에서 SPEC을 완벽히 충족하는 결과를 확보했습니다.
수직 (Z축): 27.7 µm/s → 17.9 µm/s (35.4% 저감) / [VC-B 충족]
좌우 (X축): 70.7 µm/s → 22.4 µm/s (68.3% 저감) / [VC-B 충족]
전후 (Y축): 71.0 µm/s → 48.0 µm/s (32.4% 저감) / [VC-A]
전 방향에 걸쳐 유의미한 진동 저감 효과가 확인되었으며, 특히 전후(Y)방향은 약 32.4% 저감 되었습니다.
2. 전후(Y) 방향 측정 결과에 대한 기술적 소견
본 대상물은 높이 3 m 이상의 입형 구조로, 수평 방향 가진에 대해 상단부에서 모멘트 암에 의한 응답 증폭이 발생하는 것이 구조적 특성입니다.
측정 결과에서도 수직 방향은 Floor 대비 증폭이 관측되지 않는 반면, 수평 방향에서만 증폭이 나타나는 것으로 확인됩니다.
금회 보강은 이러한 수평 방향 응답을 전후 기준 약 32.4% 저감시켰으며, 해당 형상의 구조물에서 확보 가능한 실질적 개선 수준에 해당합니다.
전후 방향은 VC-A 수준으로 SPEC(VC-B)에는 도달하지 못하였습니다.
측정 데이터 요약
DVIF-FB 상판
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | DVIF-FB 상판 |
|---|---|---|---|
| 1. DVIF-FB 상판 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✗ FAIL |
Stage
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 상부 장비 Stage |
|---|---|---|---|
| 1. 상부 장비 Stage | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✗ FAIL |
| 좌우(X-axis) | ✗ FAIL | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS |
측정 데이터
DVIF-FB 상판 — 수직(Z-axis) VC Curves
DVIF-FB 상판 — 수직(Z-axis) VC Curves (보강 전)
DVIF-FB 상판 — 좌우(X-axis) VC Curves
DVIF-FB 상판 — 좌우(X-axis) VC Curves (보강 전)
DVIF-FB 상판 — 전후(Y-axis) VC Curves
DVIF-FB 상판 — 전후(Y-axis) VC Curves (보강 전)
상부 장비 Stage — 수직(Z-axis) VC Curves
상부 장비 Stage — 좌우(X-axis) VC Curves
상부 장비 Stage — 전후(Y-axis) VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
3. 이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
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