에프에스티(FST) LAZIN LODAS-B18 포토마스크 블랭크 검사장치 DVIF-FB(241001R5) 설치 보고서 — 2026년 9월 재측정 및 상부 장비 하부 프레임 베이스라인
Contents
개요
FST 오산사업장 3층 클린룸에 DVIF-FB-1000x2000x3000H 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIF-FB-1000x2000x3000H
시리얼 넘버: 241001R5
엔지니어
박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.03
설치 장소
FST 오산사업장 3층 클린룸
End User
고객사: FST
고객사 장비
제조사: LAZIN
장비명: 포토마스크 블랭크 검사장치
모델: LODAS-B18
진동 스펙
수평
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 25 |
| 100 | 25 |
수직
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 25 |
| 100 | 25 |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
DVIF-FB 상판 진동 측정 결과:
고객사 요청에 따라 기존 측정 데이터의 신뢰성 검증을 위해 재측정한 결과, 이전 데이터와 동일하게 수직(Z-axis) 및 좌우(X-axis) 방향은 진동 스펙을 만족(PASS)하였으나, 전후(Y-axis) 방향은 스펙을 초과(FAIL)하는 것으로 확인되었습니다.
상부 장비 하부 프레임 진동 측정 결과:
상부 장비의 스펙 만족(Spec-In)을 위한 빌츠패드 적용 전 베이스라인 데이터를 확보하고자 측정을 진행하였으며, 측정 결과 수직(Z-axis), 좌우(X-axis), 전후(Y-axis) 전 축에서 현재 진동 스펙을 초과(FAIL)하는 것으로 나타났습니다.
향후 조치:
상부 장비 하부 프레임의 진동 스펙 만족 및 저감을 위해 계획된 빌츠패드 적용 작업을 진행하고, 적용 전·후 데이터 비교 평가를 수행할 예정입니다.
측정 데이터 요약
DVIF-FB 상판
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | DVIF-FB 상판 |
|---|---|---|---|
| 1. DVIF-FB 상판 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✗ FAIL |
상부 장비 하부 프레임
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 상부 장비 하부 프레임 |
|---|---|---|---|
| 1. 상부 장비 하부 프레임 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✗ FAIL |
| 좌우(X-axis) | ✗ FAIL | ||
| 전후(Y-axis) | ✗ FAIL |
측정 데이터
DVIF-FB 상판 — 수직(Z-axis) Autospectrum
DVIF-FB 상판 — 수직(Z-axis) VC Curves
DVIF-FB 상판 — 좌우(X-axis) Autospectrum
DVIF-FB 상판 — 좌우(X-axis) VC Curves
DVIF-FB 상판 — 전후(Y-axis) Autospectrum
DVIF-FB 상판 — 전후(Y-axis) VC Curves
상부 장비 하부 프레임 — 수직(Z-axis) Autospectrum
상부 장비 하부 프레임 — 수직(Z-axis) VC Curves
상부 장비 하부 프레임 — 좌우(X-axis) Autospectrum
상부 장비 하부 프레임 — 좌우(X-axis) VC Curves
상부 장비 하부 프레임 — 전후(Y-axis) Autospectrum
상부 장비 하부 프레임 — 전후(Y-axis) VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
3. 이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
