제품 브로슈어

탁상형 액티브 제진 시스템. 플러그 앤 플레이, 외부 에어 공급 불필요, ±0.08 mm 반복정밀도의 자동 수평 조절.

전자현미경용 모듈형 액티브 제진 플랫폼. 속도 센서 11개, 91 mm 저상형 슬라이드인 설치, 0.5 Hz부터 액티브 제진.

반도체 계측·검사 장비를 위한 액티브 공압 제진 시스템. 550 kg~20,000 kg 적재, 0.5 Hz부터 6자유도 제어, 스테이지 이동 후 1초 이내 정착.

TEM·Cryo-EM 등 대형 장비를 위한 저높이형 커스텀 베이스 플랫폼.

Thermo Fisher SEM 설치 환경에 맞춰 설계된 액티브 제진 플랫폼.