SERON Technologies SEMIRON 5000 SEM DVIA-MB1000 Installation Report
Contents
개요
새론테크놀로지(의왕) 506호 연구실에 DVIA-MB1000 성능 점검 후 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-MB1000
시리얼 넘버: 161117R3
엔지니어
박동규, 박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.11
설치 장소
새론테크놀로지(의왕) 506호 연구실
End User
고객사: 새론테크놀로지
고객사 장비
제조사: 새론테크놀로지
장비명: SEM
모델: SEMIRON 5000
진동 스펙
N/A
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
새론테크놀로지 506호 연구실에 설치된 DVIA-MB1000(S/N: 161117R3) 장비에 대한 성능 점검 및 진동 측정 결과, X·Y·Z축 센서 신호와 Active 제진 성능 모두 정상 범위 내에서 안정적으로 작동하고 있음을 확인하였습니다.
측정 데이터를 VC Curve로 분석한 결과, X·Y·Z 세 축 모두 VC-G 등급 수준의 매우 우수한 제진 성능을 유지하고 있어 별도의 재튜닝 작업 없이도 운용이 가능한 상태입니다.
따라서 해당 제진대가 설치된 환경은 진동 측면에서 매우 양호하며, 새론테크놀로지의 SEM 장비인 'SEMIRON 5000'을 운용함에 있어 외부 진동으로 인한 영향 없이 안정적인 성능 구현이 가능할 것으로 판단됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 바닥 | DVIA-MB1000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 바닥 2. DVIA-MB1000 | N/A | 수직(Z-axis) | VC-D | VC-G |
| 좌우(X-axis) | VC-D | VC-G | ||
| 전후(Y-axis) | VC-D | VC-G |
측정 데이터
Z-axis Autospectrum
Z-axis VC Curves
X-axis Autospectrum
X-axis VC Curves
Y-axis Autospectrum
Y-axis VC Curves
장비 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
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케이스 스터디 정보
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