YIMOTECH 레조낙 일렉트로닉 머티리얼즈 ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
YIMOTECH
Resonac Electronic Materials
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
251212R2
Guangzhou
Contents
개요
DVIA-ML1000을 Guangzhou(광저우)에 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비가 Turned off 상태에서 수행되었습니다.
측정 데이터는 auto-spectrum 형식으로 표현되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 함께 제공됩니다.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-ML1000
Serial Number: 251212R2
엔지니어
Taehun Kim · DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2026.08.12
보고서 작성일
2026.08.12
End User
Resonac Electronic Materials
튜닝 횟수
2nd
설치 장소
Guangzhou
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: Sigma 360
진동 사양
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
| 100 | 2 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
| 100 | 2 |
장비 상태
Turned off
Tuning Request
결론
설치 전에는 장비의 진동 사양을 만족하지 못했던 진동 수준이, DVIA-ML1000을 적용하고 재튜닝을 완료한 뒤에는 사양을 만족하는 것으로 측정 결과에서 확인되었습니다.
측정 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ML1000 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
측정 데이터 (UI 프로그램)
Vertical — Autospectrum
Left to Right — Autospectrum
Front to Back — Autospectrum
Installation Photo
설치 사진은 허용되지 않았습니다.
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
3. 본 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 진동 요구 사항에 대해 전문가의 조언을 구하는 것이 권장됩니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일09-05-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
YIMOTECH
Resonac Electronic Materials
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
251212R2
Guangzhou
