ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
Hangzhou(杭州)에 DVIA-ML1000을 설치한 후 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.
장비가 Turned off 상태일 때 진동 측정을 수행했습니다.
데이터는 Autospectrum 형태로 제시하며, 진동 수준에 대한 참고 자료도 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260617R6-1
엔지니어
Younguk KIM · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.11
End User
Zhejiang A&F University(浙江农林大学)
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Hangzhou(杭州)
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
| 100 | 2 |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
| 100 | 2 |
장비 상태
Turned off
튜닝 요청
결론
설치 바닥과 DVIA-ML1000 능동 제진 시스템 상판, 두 위치에서 진동 측정을 수행하고 9절에서 정의한 기준에 따라 평가했습니다.
튜닝 시작 시점에 이미 바닥 진동이 VC-G 기준(약 100 nm/s) 아래로 측정되어, 설치 환경 자체가 매우 낮은 주변 진동 조건임을 의미합니다. 이러한 조건에서는 능동 제진 시스템이 감쇠할 수 있는 입력 진동이 본질적으로 매우 작기 때문에, 고객이 요구한 2–10 Hz 구간의 -20 dB 감쇠를 물리적으로 달성하기 어렵습니다. 이 결과는 제진 시스템의 성능 부족이 아니라 측정 환경의 특성에서 기인한 것입니다.
튜닝 완료 후, 바닥 진동이 VC-G 아래인 상황에도 불구하고 SEM에서 이미지가 흔들리는 현상이 관찰되었다는 고객 피드백이 있었습니다. 이에 대한 설명을 제공했습니다: 설치된 ZEISS Sigma 360이 요구하는 진동 스펙은 VC-E 수준이며, 측정된 환경은 이 요구 사항을 큰 여유로 충족하고 있습니다. 따라서 이러한 조건에서도 이미지 품질이 여전히 달성되지 않는다면, 원인은 진동 격리 환경보다 장비 자체의 상태에 있는 것으로 판단됩니다.
이후 End User가 SEM 이미지를 직접 확인하여 확인해 주었고, 이를 통해 세션을 종료했습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 9절 참조 | Vertical | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램으로 획득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
