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설치 보고서
DVIA-M Series
07-03-2026

China XD Electric Co., Ltd. ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
China XD Electric
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
260310R1
Wuxi

Contents

개요

The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 260310R1

엔지니어

Juhyeok Kim, DAEIL SYSTEMS

설치 일자

2026년 06월 04일

End User

China XD Electric Co., Ltd.

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Wuxi, China

장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: FE-SEM

Model: Sigma 360

진동 사양

Vertical

Frequency [Hz]Limit [mm/s² RMS]
1-80.03
8-450.15
45-1002

Horizontal

Frequency [Hz]Limit [mm/s² RMS]
1-100.04
10-200.17
20-700.3
70-1002

측정 요약

Measurement PointVibration SpecificationAxisFloorDVIA-ML1000
1. Floor
2. DVIA-ML1000		Refer to Vibration SpecificationVertical✗ FAIL✓ PASS
Left to Right✗ FAIL✓ PASS
Front to Back✗ FAIL✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical Autospectrum

Vertical VC Curves

Vertical Transmissibility

Left to Right Autospectrum

Left to Right VC Curves

Left to Right Transmissibility

Front to Back Autospectrum

Front to Back VC Curves

Front to Back Transmissibility

Installation Photo

참고자료

The table below classifies vibration levels based on IEST-RP-CC012.2.

기준 곡선설명진폭(μm/s RMS)세부 크기(μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간, 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비, 40배 미만 현미경에 적절.20075
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 대부분의 수술실, 100배율 이하 현미경 및 기타 저민감도 장비에 적합.10025
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬 장비 등에 적합.508
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피(스테퍼 포함) 장비에 적합.253
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 세부 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준.12.51–3
VC-D전자현미경(SEM/TEM), E-Beam 시스템 등 까다로운 장비 대부분에 적합.6.250.1–0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 까다로운 민감 시스템에 적합할 것으로 가정.3.12< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.1.56N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.0.78N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일07-03-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
China XD Electric
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
260310R1
Wuxi

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