China XD Electric Co., Ltd. ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
China XD Electric
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
260310R1
Wuxi
Contents
개요
The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-ML1000
Serial Number: 260310R1
엔지니어
Juhyeok Kim, DAEIL SYSTEMS
설치 일자
2026년 06월 04일
End User
China XD Electric Co., Ltd.
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Wuxi, China
장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: Sigma 360
진동 사양
Vertical
| Frequency [Hz] | Limit [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1-8 | 0.03 |
| 8-45 | 0.15 |
| 45-100 | 2 |
Horizontal
| Frequency [Hz] | Limit [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1-10 | 0.04 |
| 10-20 | 0.17 |
| 20-70 | 0.3 |
| 70-100 | 2 |
측정 요약
| Measurement Point | Vibration Specification | Axis | Floor | DVIA-ML1000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | Refer to Vibration Specification | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical Autospectrum
Vertical VC Curves
Vertical Transmissibility
Left to Right Autospectrum
Left to Right VC Curves
Left to Right Transmissibility
Front to Back Autospectrum
Front to Back VC Curves
Front to Back Transmissibility
Installation Photo
참고자료
The table below classifies vibration levels based on IEST-RP-CC012.2.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일07-03-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
China XD Electric
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
260310R1
Wuxi
