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설치 보고서
DVIA-M Series
05-11-2026

Fuchuang Precision Semiconductor ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 (260203R3) Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
Fuchuang Precision Semiconductor
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
260203R3
Beijing

Contents

Prepared by

Engineer: Juhyeok Kim

Tuning date: 26.05.08

Report written date: 26.05.11

개요

The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 260203R3

담당 엔지니어

Juhyeok Kim DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2026년 5월 8일

End User

Fuchuang Precision Semiconductor

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Beijing, China

장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: FE-SEM

Model: Sigma 360

진동 사양

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

N/A

측정 요약

Measurement PointStatusAxisVibrationSpecificationMeasurement Data(RMS, mm/s2)Result
FloorDVIA-ML1000FloorDVIA-ML1000
1.Floor
2.DVIA-ML1000		Equipment is Turned on/IDLEVerticalRefer to item 95.78
@ 24.14 Hz		0.0349
@ 24.14 Hz		✗ FAIL✓ PASS
Left to Right0.00589
@ 2.87 Hz		0.000249
@ 2.87 Hz		✓ PASS✓ PASS
Front to Back0.0797
@ 2.52 Hz		0.00529
@ 2.52Hz		✓ PASS✓ PASS

Measurement Data Obtained via UI Program

수직 VC Curves

수직 Autospectrum

수직 전달률

좌우 VC curves

좌우 Autospectrum

좌우 전달률

전후 VC Curves

전후 Autospectrum

전후 전달률

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일05-11-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
Fuchuang Precision Semiconductor
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ML1000
260203R3
Beijing

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