ZEISS FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
톈진(Tianjin)에서 DVIA-ML1000 설치가 완료된 후, 튜닝 및 진동 측정이 수행되었습니다.
진동 측정은 장치가 Idle 상태일 때 수행되었습니다.
데이터는 Autospectrum 형태로 표현되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 제공됩니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260617R5
엔지니어
김태헌 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.22
End User
PipeChina (China Oil & Gas Pipeline Network Corporation)
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Tianjin
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 ~ 10 | 0.04 |
| 10 ~ 20 | 0.17 |
| 20 ~ 70 | 0.3 |
| 70 ~ | 2 |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 ~ 8 | 0.03 |
| 8 ~ 45 | 0.15 |
| 45 ~ 100 | 2 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
결론
톈진(Tianjin)의 PipeChina 현장에서 DVIA-ML1000 (S/N 260617R5)의 설치 및 튜닝이 완료된 후, ZEISS Sigma 360이 Idle 상태일 때 바닥과 제진대에서 진동이 측정되었습니다.
바닥 진동은 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back) 모두 ZEISS 진동 스펙(9절)을 초과합니다. DVIA-ML1000 위에서는 세 축 모두 스펙을 만족합니다. 각 축별 측정 그래프는 14절에 제공됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 9절 참조 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
UI 프로그램으로 취득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
장비
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 주파수 구간 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G)의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 선폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로만 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
