설치 보고서

08-19-2026

YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서

DVIA-M Series

Installation Report

YIMOTECH

Suzhou National Laboratory

Research Laboratory

Thermo Fisher Scientific

Quattro

ESEM

DVIA-ML1000

260610R5

Suzhou

개요

중국 쑤저우(Suzhou) 현장에 DVIA-ML1000을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.

진동 측정은 장비를 Turned off 상태로 두고 수행했습니다.

측정 데이터는 VC Curve 형식으로 표현했으며, 진동 수준을 판단하는 데 필요한 참고 자료를 함께 실었습니다.

제진대

모델: DVIA-ML1000

시리얼 넘버: 260610R5

엔지니어

Taehun Kim · 대일시스템

튜닝 날짜

2026.08.19

보고서 작성일

2026.08.31

End User

Suzhou National Laboratory (쑤저우 국가실험실)

튜닝 횟수

1st

설치 장소

Suzhou (쑤저우)

고객사 장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비명: ESEM (환경 주사전자현미경)

모델: Quattro

진동 스펙

Horizontal: VC-G

Vertical: VC-F

장비 상태

Turned off

Tuning Request

이미지 1 · YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서

UI 프로그램 측정 데이터

Vertical — VC Curves

이미지 2 · YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서

Left to Right — VC Curves

이미지 3 · YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서

Front to Back — VC Curves

이미지 4 · YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서

설치 사진

이미지 5 · YIMOTECH Thermo Fisher Quattro ESEM DVIA-ML1000 설치 보고서

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준으로 진동 수준을 분류한 것입니다.

기준 곡선	설명	진폭 (μm/s) (μin/s)	세부 크기 (μm)
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감되는 진동. 작업장 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 민감하지 않은 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적합하며, 컴퓨터 장비·병원 회복실·반도체 프로브 테스트 장비·40배 미만 현미경에도 대체로 충분.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 대부분의 수술실과 100배율 이하 현미경, 기타 저민감도 장비에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울, 근접·투영 정렬 장비 등에 대체로 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 세부 크기의 리소그래피·검사 장비(중간 민감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준.	12.5 (500)	1-3
VC-D	전자현미경(SEM·TEM), E-Beam 시스템 등 까다로운 장비 대부분에 적합.	6.25 (250)	0.1-0.3
VC-E	달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 극도로 높은 동적 안정성이 필요한 시스템에 적합할 것으로 가정.	3.12 (125)	<0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장.	0.78 (31.3)	N/A

참고:

1. VC-A·VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정한 값입니다.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서는 선폭을, 의료·제약 연구에서는 입자(셀) 크기를 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에 해당합니다.

본 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비와 공정의 진동 요구 사항을 잘 아는 전문가의 조언을 함께 구하는 것을 권장합니다.

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