YDRICQS Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
Contents
개요
DVIA-ML1000 설치 후 시스템 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비가 가동(operating) 상태에서 수행되었습니다.
측정 결과는 VC Curve 형식으로 제시되며, 해당 진동 기준에 대한 참고 정보가 함께 제공됩니다.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-ML1000
Serial Number: 251014R5
엔지니어
Taehun kim, DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2026년 06월 25일
End User
YDRICQS (Quantum Science and Technology Yangtze River Delta Industrial Innovation Center)
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Suzhou, China
장비
Manufacturer: Thermo Fisher Scientific
Equipment: FIB-SEM
Model: Helios 5CX
진동 사양
VC-F
장비 상태
Turned on
Tuning Request
결론
제진 시스템은 고객 현장에 성공적으로 설치·시운전되었습니다. 설치 환경의 HVAC 시스템에서 발생하는 상당한 측풍(crosswind)으로 인해 개루프(open-loop) 측정 시 배경 소음 수준이 다소 높게 관측되었습니다. 이러한 환경 조건에도 불구하고 초기 튜닝에서 만족스러운 제진 성능을 보였으며, 모든 측정 결과가 규정 요구사항을 충족했습니다.
측정 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Floor | DVIA-ML1000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. Floor 2. DVIA-ML1000 | See Section 9 | Vertical | ✗ Fail | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical Auto Spectrum
Vertical VC Curves
Left to Right Auto Spectrum
Left to Right VC Curves
Front to Back Auto Spectrum
Front to Back VC Curves
Installation Photo
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
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