YIMOTECH Thermo Fisher Scientific Helios 5CX FIB-SEM DVIA-M1000 Installation Report
Contents
개요
DVIA-M1000을 중국 쑤저우에 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비 상태에서 수행되었습니다.
데이터는 VC Curve 형식으로 제시되며, 진동 수준에 대한 참고 자료가 함께 제공됩니다.
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-M1000
Serial Number: 251203R7
엔지니어
Taehun KIM, DAEIL SYSTEMS
튜닝 일자
2026.07.02
End User
Suzhou Institute of Nano-tech and Nano-bionics, SINANO
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Suzhou in China
장비
Manufacturer: Thermo Fisher Scientific
Equipment: FIB-SEM
Model: Helios 5CX
진동 사양
VC-F
장비 상태
IDLE
Tuning Request
결론
The raw floor vibration levels at the installation site did not satisfy the required vibration specification for the Helios 5CX FIB-SEM. Upon installation and tuning of the DVIA-M1000 active vibration isolation system, the vibration levels were confirmed to meet the required specification. The system has been tuned and is operating normally.
측정 요약
| Measurement Point | Status | Vibration Specifications | Axis | Floor | DVIA-M1000 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. Floor 2. DVIA-M1000 | IDLE | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS |
측정 데이터 (UI 프로그램)
Vertical VC Curves
Left to Right VC Curves
Front to Back VC Curves
Installation Photo
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준 진동 수준을 분류한 것입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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