설치 보고서

DVIA-M Series

09-01-2025

Chinese Academy of Sciences Institute of Semiconductors Thermo Fisher Helios 5 CX DVIA-M1000 (250619R4) Installation Report

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Thermo Fisher Scientific

FIB-SEM

Helios 5 CX

DVIA-M1000

Chinese Academy of Sciences

Beijing

개요

DVIA-M1000 능동 제진 플랫폼은 적절히 설치되어 있으며 의도한 대로 작동하고 있다.

진동 제어 시스템 정보

모델: DVIA-M1000

시리얼 넘버: 250619R4

담당 엔지니어

Chaewon Lee DAEIL SYSTEMS

튜닝 일자

2025년 8월 25일

보고서 작성일

2025년 9월 1일

End User

Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Beijing

장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비: FIB-SEM

모델: Helios 5 CX

장비 상태

The equipment is installed/Turned off

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-M Series

작성일09-01-2025

태그

DVIA-M Series

Installation Report

YIMO

Thermo Fisher Scientific

FIB-SEM

Helios 5 CX

DVIA-M1000

Chinese Academy of Sciences

Beijing

Chinese Academy of Sciences Institute of Semiconductors Thermo Fisher Helios 5 CX DVIA-M1000 (250619R4) Installation Report

Contents

개요

진동 제어 시스템 정보

담당 엔지니어

튜닝 일자

보고서 작성일

End User

튜닝 횟수

설치 위치

장비

장비 상태

Tuning Request

데이터 및 이미지

수직 전달률

좌우 전달률

전후 전달률

장비 사진

Reference

일반 진동 기준

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