SEMILAB AFM-2100 AFM DVIA-ML1000 설치 보고서
DVIA-M Series
Installation Report
SEMILAB
SEMILAB
AFM
AFM-2100
DVIA-ML1000
260521R5
Budapest
Contents
개요
Budapest에 DVIA-ML1000을 설치한 후 튜닝과 진동 측정을 진행했습니다.
장비가 Turned off 상태일 때 진동 측정을 수행했습니다.
데이터는 VC Curve 형태로 제시하며, 진동 수준에 대한 참고 자료도 함께 제공합니다.
제진대 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260521R5
엔지니어
Younguk KIM · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.10
End User
SEMILAB
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Budapest
고객사 장비
제조사: SEMILAB
장비: AFM
모델: AFM-2100
진동 스펙
Horizontal
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 3.125 (VC-E) |
| 100 | 3.125 (VC-E) |
Vertical
| 주파수 [Hz] | 허용치 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 3.125 (VC-E) |
| 100 | 3.125 (VC-E) |
장비 상태
Turned off
튜닝 요청
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | 9절 참조 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램으로 획득한 측정 데이터
Vertical
Vertical — VC Curves
Left to Right
Left to Right — VC Curves
Front to Back
Front to Back — VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8–80 Hz(VC-A, VC-B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G) 주파수 구간의 1/3 옥타브 대역에서 측정.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조 시 폭, 의료·제약 연구 시 입자(세포) 크기 등을 나타내며, 프로브 기술·AFM·나노기술 관련 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용으로 제시됩니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 적용과 진동 요구 사항에 정통한 전문가의 조언을 구할 것을 권장합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일09-10-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
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AFM
AFM-2100
DVIA-ML1000
260521R5
Budapest
