ASE Korea TESCAN FIB-SEM SOLARIS X2 GMH DVIA-ML1000 설치 보고서
Contents
개요
ASE 코리아 PB1, 1CMD QO Lab, 전자현미경실에 DVIA-ML1000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 260622R4
엔지니어
박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.11
설치 장소
ASE 코리아 PB1, 1CMD QO Lab, 전자현미경실
End User
ASE Korea
고객사 장비
제조사: TESCAN
장비명: FIB-SEM
모델: SOLARIS X2 GMH
진동 스펙
수평
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 10 |
| 30 | 10 |
| 30 | 20 |
| 100 | 20 |
수직
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 10 |
| 30 | 10 |
| 30 | 20 |
| 100 | 20 |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
ASE 파주 현미경 연구실의 TESCAN FIB-SEM 장비 하부 제진대 튜닝 및 진동 측정 결과, 모든 축에서 기준 스펙을 충족하며 'PASS' 판정을 획득했습니다.측정 결과 수직축은 VC-B에서 VC-E로, 좌우축은 VC-E에서 VC-G로, 전후축은 VC-B에서 VC-F로 성능이 대폭 개선되었습니다. 튜닝 후 장비 이미지 성능을 검증한 결과 이상 없음이 최종 확인되어 고정밀 분석을 위한 최적의 진동 환경이 구축되었습니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ML1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ML1000 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
측정 데이터
수직(Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
좌우(X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
전후(Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
