설치 보고서

06-26-2026

TF AMD Microelectronics 페낭 TESCAN AMBER X GMH FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서

DVIA-M Series

Installation Report

TF AMD Microelectronics

TESCAN

AMBER X GMH

FIB-SEM

DVIA-ML1000

260226R2

Penang

개요

The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 260226R2

엔지니어

Juhyeok Kim, DAEIL SYSTEMS

설치 일자

2026년 06월 03일

End User

TF AMD Microelectronics (Penang)

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Penang, Malaysia

장비

Manufacturer: TESCAN

Equipment: FIB-SEM

Model: AMBER X GMH

Tuning Request

N/A

진동 사양

Built-in Isolator in the plinth

Specification (Vertical & Horizontal)

- For pneumatic suspension: < 5 µm/s below 30 Hz, < 10 µm/s above 30 Hz

- For active isolation: < 10 µm/s below 30 Hz, < 20 µm/s above 30 Hz

측정 요약

Measurement Point	Vibration Specification	Axis	Floor	DVIA-ML1000
1. Floor 2. DVIA-ML1000	Refer to Vibration Specification	Vertical	✗ FAIL	✓ PASS
		Left to Right	✓ PASS	✓ PASS
		Front to Back	✓ PASS	✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical Autospectrum

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Vertical VC Curves

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Vertical Transmissibility

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Left to Right Autospectrum

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Left to Right VC Curves

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Left to Right Transmissibility

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Front to Back Autospectrum

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Front to Back VC Curves

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Front to Back Transmissibility

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Installation Photo

이미지 10 · TF AMD Microelectronics 페낭 TESCAN AMBER X GMH FIB-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서

참고자료

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	세부 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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