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설치 보고서
DVIA-M Series
06-26-2026

TF AMD Microelectronics Penang TESCAN AMBER X GMH FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report

DVIA-M Series
Installation Report
TF AMD Microelectronics
TESCAN
AMBER X GMH
FIB-SEM
DVIA-ML1000
260226R2
Penang

Contents

개요

The DVIA-ML1000 active vibration isolation platform is appropriately installed and functioning as intended.

진동 제어 시스템 정보

Model: DVIA-ML1000

Serial Number: 260226R2

엔지니어

Juhyeok Kim, DAEIL SYSTEMS

설치 일자

2026년 06월 03일

End User

TF AMD Microelectronics (Penang)

튜닝 횟수

1st

설치 위치

Penang, Malaysia

장비

Manufacturer: TESCAN

Equipment: FIB-SEM

Model: AMBER X GMH

Tuning Request

N/A

진동 사양

Built-in Isolator in the plinth

Specification (Vertical & Horizontal)

- For pneumatic suspension: < 5 µm/s below 30 Hz, < 10 µm/s above 30 Hz

- For active isolation: < 10 µm/s below 30 Hz, < 20 µm/s above 30 Hz

측정 요약

Measurement PointVibration SpecificationAxisFloorDVIA-ML1000
1. Floor
2. DVIA-ML1000		Refer to Vibration SpecificationVertical✗ FAIL✓ PASS
Left to Right✓ PASS✓ PASS
Front to Back✓ PASS✓ PASS

데이터 및 이미지

Vertical Autospectrum

Vertical VC Curves

Vertical Transmissibility

Left to Right Autospectrum

Left to Right VC Curves

Left to Right Transmissibility

Front to Back Autospectrum

Front to Back VC Curves

Front to Back Transmissibility

Installation Photo

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)		세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-M Series
작성일06-26-2026
태그
DVIA-M Series
Installation Report
TF AMD Microelectronics
TESCAN
AMBER X GMH
FIB-SEM
DVIA-ML1000
260226R2
Penang

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