STATSCHIPPACK Korea TESCAN SOLARIS X FIB-SEM DVIA-ML1000 (250824R1) Installation Report
Contents
개요
스태츠칩팩코리아 실험실에 설치된 DVIA-ML1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.
제진대 상부에 설치된 장비내에 액티브 제진대가 설치되어 있었으며, 장비로부터 바람과 진동이 존재하였습니다. 이는 튜닝 및 진동측정에 영향을 줄 수 있습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000
시리얼 넘버: 250824R1
담당 엔지니어
대일시스템 개발팀 박동규
튜닝 일자
2025년 10월 24일
보고서 작성일
2025년 10월 31일
End User
스태츠칩팩코리아
튜닝 횟수
N/A
설치 위치
스태츠칩팩코리아 실험실
장비
Manufacturer: TESCAN
Equipment: FIB-SEM
Model: SOLARIS X
장비 상태
Turned on
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 사양
10 um/s<30 Hz
20 um/s>30 Hz
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
Tuning Request
N/A
측정 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥 진동 | DVIA-ML1000 | 측정 결과 | 측정 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 스태츠칩팩 코리아 실험실 | 장비설치 / Turned on | Vertical | VC-E @ 31.5 Hz | VC-F @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 스태츠칩팩 코리아 실험실 | 장비설치 / Turned on | Left to Right | VC-F @ 63 Hz | VC-G @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 스태츠칩팩 코리아 실험실 | 장비설치 / Turned on | Front to Back | VC-C @ 31.5 Hz | VC-F @ 31.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
수직 전달률
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
좌우 전달률
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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