TESCAN Korea LeWest City TESCAN Amber FIB-SEM DVIA-ML1000 Installation Report
개요
르웨스트시티 B동 2F 테스칸 코리아 Demo룸, DVIA-ML1000 튜닝 및 진동 측정(장비 Turned on/IDLE). 측정 당시 TESCAN Amber 냉각팬이 제진대에서 가동 중이어서 측정에 영향을 줄 수 있음.
Data는 VC curve로 표기, 아래 참고에 일반 VC 기준 표기.
진동 제어 시스템 정보
모델: DVIA-ML1000 / 시리얼: 260212R2-1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2026년 3월 12일
보고서 작성일
2026년 3월 13일
설치 장소
르웨스트시티 B동 2F 테스칸 코리아 Demo룸
고객사 장비
Manufacturer: TESCAN / FIB-SEM / Model: Amber
장비 스펙
30 Hz 이하: 12 µm/s / 30 Hz 초과: 24 µm/s
장비 상태
설치, Turned on/IDLE
진동 측정 장비
Data Physics DAQ: QUATTRO (22436), SignalCalc ACE / PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span 200 Hz, Lines 3200, Engineering units: m/s, Window Hanning, FFT Spectrum Averaging, Exponential 40
결론
냉각팬 영향으로 일부 구간에서 바닥보다 제진대 상부 진동이 더 크게 보일 수 있으나, 제진대 결함이 아닌 장비 측 진동으로 해석. 모든 방향에서 스펙 만족.
측정 데이터 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 측정값(바닥) | 측정값(DVIA) | 결과 |
|---|---|---|---|---|---|
| Demo룸 | On/IDLE | 수직 | (곡선 참고) | VC-C @ 31.5 / VC-E @ 31.5 | ✓ PASS / ✓ PASS |
| 좌우 | (곡선 참고) | VC-F @ 3.15 / VC-G @ 3.15 | ✓ PASS / ✓ PASS | ||
| 전후 | (곡선 참고) | VC-E @ 20 / VC-G @ 20 | ✓ PASS / ✓ PASS |
데이터·이미지 — 수직·좌우·전후 VC / Narrow / 전달률
수직 VC-curves
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC-curves
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC-curves
전후 Autospectrum
전후 전달률
Reference
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
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케이스 스터디 정보
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