WONIK IPS DVIA-T78 (211213R1) Installation Report
Contents
엔지니어
엔지니어: 박동규
측정 날짜
2025년 12월 12일
보고서 작성일
2025년 12월 16일
개요
원익 IPS 진위 사업장 4F wafer 분석실에 설치된 T78의 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
제진대 위에 Bruker사의 장비 자체 test 기준으로 많은 진동이 측정되는 문제로 재방문하여 재 튜닝을 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-T78
시리얼 넘버: 211213R1
필드 엔지니어
대일시스템 개발팀 박동규
설치 장소
원익 IPS 진위 사업장 4F wafer 분석실
End User
원익 IPS
고객사 장비
Manufacturer: BRUKER
Equipment: Nano Indentation tester
Model: TS77
장비 스펙
-
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Average Mode: Exponential, 40
결론
DVIA-T78은 모든 방향에서 제진이 잘 이루어지는 것을 Bruker 측과 원익 IPS 담당자와 함께 확인하였습니다.
Bruker 사 측의 자체 test를 불만족하는 이유로는 장비 바로 아래에 고무 기둥으로 인하여 장비에서 발생하는 진동이 제진대에 감소되어 전달되어 제진하는데 어려움이 있는 것으로 이야기하였습니다.
Bruker 사 측에서 장비를 수정하는 방안으로 본사 측과 협의하여 진행하기로 했습니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 바닥진동 | DVIA-T78 |
|---|---|---|---|---|
| 원익 IPS 진위 사업장 4F wafer 분석실 1. 바닥진동 2. DVIA-T78 | Turned on/IDLE | Vertical | VC-B @ 5 Hz | VC-E @ 90 Hz |
| Left to Right | VC-E @ 2.5 Hz | VC-G @ 63 Hz | ||
| Front to Back | VC-D @ 2.5 Hz | VC-F @ 90 Hz |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospecturm
Front to Back Transmissibility
참고자료
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
