KimTechnix Keyence VK-X4000 레이저 스캐닝 공초점 현미경 DVIA-TD45(260616R5) 설치 보고서
Contents
개요
본 보고서는 킴테크닉스 연구실에 설치된 DVIA-TD45의 튜닝 및 진동 측정 결과를 기술한 것입니다.
측정은 제진대 적용 전 데스크 진동, 패시브(Passive) 제진 상태, 능동(Active) 제진 상태의 세 가지 조건으로 구분하여 진행하였으며, 이를 통해 제진대 적용에 따른 진동 저감 효과를 비교 분석하였습니다. 상부 장비인 Keyence VK-X4000은 Idle 상태에서 점검 및 측정을 수행하였습니다.
측정 데이터는 Autospectrum 및 VC Curve로 표기하였으며, 13항의 IEST-RP-CC012.2 분류 기준과 함께 현재 진동 수준에 대한 Reference 자료로 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-TD45
시리얼 넘버: 260616R5
엔지니어
김태헌 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.08
설치 장소
킴테크닉스 연구실
End User
킴테크닉스
고객사 장비
제조사: Keyence
장비명: VK-X4000
모델: Laser Scanning Confocal Microscope
장비 상태
Idle
진동 측정 장비
Measurement Equipment
하드웨어: Bruel & Kjaer Type 3050-A-040
소프트웨어: Pulse 22
Accelerometer
PCB 393B05 2EA(Top, Base)
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
본 측정은 DVIA-TD45 적용에 따른 진동 저감 효과를 정량적으로 확인하기 위하여, ① 제진대 미적용 상태의 데스크 진동, ② 해당 진동이 입력되는 패시브(Passive) 제진 상태, ③ 능동(Active) 제진 활성화 상태의 세 가지 조건으로 구분하여 진행하였으며, 각 조건의 측정 데이터를 Autospectrum 및 VC Curve로 비교 분석하였습니다.
측정 결과, 제진대 미적용 시 데스크 상판에서 확인되었던 주요 공진 성분(약 12 Hz)은 패시브 제진 상태에서 1차적으로 저감되었으며, 능동 제진 활성화 시 해당 공진 성분이 추가로 억제되어 전 주파수 대역에서 안정적인 진동 레벨을 확보하였습니다. 특히 패시브 제진만으로는 저감이 제한적인 저주파(10 Hz 이하) 영역에서 능동 제진의 효과가 뚜렷하게 확인되었습니다.
최종 진동 수준은 수직(Z-axis), 좌우(X-axis), 전후(Y-axis) 전 방향에서 VC-F 등급 이내로 측정되었습니다. IEST-RP-CC012.2 분류상 VC-F 및 VC-G는 특정 장비군이 지정되지 않은 구간으로, 장비군이 규정된 최하위 기준인 VC-E(3.12 μm/s)보다도 낮은 진동 수준에 해당합니다. 고배율 광학 현미경 및 전자 현미경급 장비가 포함되는 VC-C(12.5 μm/s) 및 VC-D(6.25 μm/s) 기준과 비교하면 충분한 여유를 확보한 상태입니다.
또한 제진대 미적용 상태에서 확인되었던 공진 성분이 능동 제진 활성화 시 유효하게 억제됨을 확인하였으므로, 현재 설치 상태에서 Keyence VK-X4000 운용에 진동에 기인한 제약 요소는 관찰되지 않았습니다.
다만 본 판단은 상기 분류 기준 및 측정 시점의 환경 조건을 근거로 한 것으로, 장비 제조사가 별도의 설치 진동 사양(Installation Requirement)을 제시하는 경우 해당 기준과의 대조 검토가 필요합니다.
장비 Operating 조건 또는 설치 환경(인접 장비 증설, 공조·유틸리티 변경 등) 변동 시에도 진동 수준이 달라질 수 있으므로, 환경 변화 시 재측정을 권장드립니다.
측정 데이터
Passive
Vertical (Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
Left to Right (X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
Front to Back (Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
Active
Vertical (Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
Left to Right (X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
Front to Back (Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
¹ 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
² 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
