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설치 보고서
DVIA-T Series
06-19-2026

Hyundai Motor Keyence Laser Confocal Microscope VK-3000 DVIA-TD45 Installation Report

DVIA-T Series
Installation Report
Hyundai Motor
Keyence
Laser Confocal Microscope
VK-3000
DVIA-TD45
260422R5

개요

점검 배경: 아이솔레이션 가동 시 고배율 측정 구간에서 진동이 발생하고, 미가동 시 진동이 감소하는 현상을 접수하였습니다.

현장 상황 및 원인 분석: 현장 장비 점검 결과 제진대 발진 현상을 확인하였습니다.

재튜닝 후 고객사 장비 요구조건 만족 및 고배율 현미경 정상 작동을 확인하였습니다.

추가적으로 장비 주변 환풍구 기류 영향을 확인하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-TD45

시리얼 넘버: 20260422R5

엔지니어

대일시스템 정성윤

튜닝 날짜

2026년 06월 08일

설치 장소

현대자동차 환경기술연구소

End User

현대자동차

고객사 장비

Manufacturer: Keyence Korea

Equipment: Laser Confocal Microscope

Model: VK-3000

진동 스펙

VC-C

장비 상태

고객사 장비 설치 후 가동 상태에서 진동 측정을 진행하였습니다. 왼쪽 환풍구의 배기가 악영향을 미치므로, 환풍구 이동을 권장드립니다.

그림 1. 왼쪽 장비의 환풍구 영향성

진동 측정 장비

Measurement Equipment

- Hardware: B&K Type 3050-A-040

- Software: PULSE 22

Accelerometer: PCB 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200 Hz

Lines: 2400

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

측정 데이터 요약

측정 장소상태진동 스펙방향FloorDVIA-TD45
1. 바닥
2. DVIA-TD45
가동 상태VC-C수직(Z-axis)PASSPASS
좌우(X-axis)FAILPASS
전후(Y-axis)PASSPASS

측정 데이터

Vertical VC Curves

Left to Right VC Curves

Front to Back VC Curves

참고자료

기준 곡선설명진폭
μm/s (µin/s)
세부 크기
μm
Workshop (ISO)뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합.100 (4,000)25
VC-A400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합.25 (1,000)3
VC-C1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.12.5 (500)1 - 3
VC-D전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합.6.25 (250)0.1 - 0.3
VC-E나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.0.78 (31.25)N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일06-19-2026
태그
DVIA-T Series
Installation Report
Hyundai Motor
Keyence
Laser Confocal Microscope
VK-3000
DVIA-TD45
260422R5