도입사례

AOV CO.,LTD(타이베이)의 GBS metrology GmbH WLI(GBS smartWLI Firebolt8) 아래 설치된 DVIA-T56(시리얼 260813R3) 설치 보고서입니다. 발진(oscillation) 문제 해결을 위한 원격 튜닝 후, 가동 상태 측정에서 고객사 지정 VC-D 기준을 만족(수직 VC-G, 좌우 VC-E, 전후 VC-G)한 결과를 확인했습니다.

현대자동차 남양연구소에 Keyence VHX-X1 디지털 현미경이 올라간 DVIA-TD45(시리얼 260722R4)를 재튜닝하고 작성한 설치 보고서입니다. 상부 장비가 움직이거나 하중이 바뀌어도 안정적으로 동작하도록 안정성 위주로 재튜닝을 진행하였고, IDLE 상태 진동 측정에서 제진대 상부가 바닥(VC-A~VC-B)보다 개선된 VC-C~VC-E 수준임을 확인하였습니다.

Pharrics BV(Leuven)의 MPI Corporation MPI TS150 프로브 스테이션에 DVIA-T67(시리얼 260402R1)을 설치하고 작성한 설치 보고서입니다. 정의된 진동 스펙이 없는 상태에서 프로브 스테이션을 시스템에 장착하고 장비를 Idle 상태로 두고 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다. 측정 결과는 축별 Autospectrum과 VC Curves 플롯으로 제시되며, IEST-RP-CC012.2 진동 기준 분류표를 함께 게시합니다.

킴테크닉스 연구실에 Keyence VK-X4000 레이저 스캐닝 공초점 현미경을 대상으로 DVIA-TD45(시리얼 260616R5)를 설치하고 작성한 설치 보고서입니다. 현미경이 Idle 상태인 가운데 데스크 진동, 패시브 제진, 능동 제진의 세 가지 조건으로 튜닝 및 진동 측정을 수행했으며, 최종 진동 수준은 전 축에서 VC-F 등급 이내로 측정되었습니다.

Tier-1 Semiconductor 이천사업장 P&T4 1층 연구실의 OLYMPUS MX63L 현미경에 DVIA-T78(시리얼 260819S1)을 설치하고 진행한 설치 보고서 및 데모 테스트 결과입니다. 해당 현미경은 명확한 진동 허용 스펙이 정의돼 있지 않았지만, 운용 중 이미지 해상도가 떨어지고 육안으로 확인되는 흔들림과 노이즈가 발생했으며 기존 수동형(Passive) 제진대만으로는 개선이 충분하지 않았습니다. IDLE 상태에서 B&K Front End Type 3040-A-040과 PCB 393B05 가속도계로 DVIA-T78 상판 데모 테스트 2회, 기존 Passive 제진대 상판 기준 측정 2회를 수행했습니다. 액티브 제진대 적용 후에는 수직·좌우·전후 3축 모두 VC-D~VC-E 수준으로 안정화됐고, 현미경 이미지의 흔들림과 노이즈가 완전히 사라져 선명한 해상도를 확보했습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves 24장과 IEST-RP-CC012.2 진동 수준 분류표를 함께 게시합니다.

현대자동차 환경기술연구소 Keyence Laser Confocal Microscope VK-3000 DVIA-TD45 설치 보고서 — 제진대 발진 현상을 진단·재튜닝하여 VC-C 요구조건을 만족. DVIA-TD45 제진대는 전 축 PASS, 바닥 좌우 축은 FAIL이며 환풍구 기류 영향을 추가로 확인.