Shanghai Opotong Instruments COXEM EM 40 DVIA-T56 (260202R1-6) Re-Tuning Report
Contents
Prepared by
Engineer: Juhyeok Kim
Tuning date: 26.05.14
Report written date: 26.05.14
개요
Re-tuning due to the DVIA-T56 active vibration oscillation
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-T56
Serial Number: 260202R1
담당 엔지니어
Juhyeok Kim DAEIL SYSTEMS
Tuning Date
May 14, 2026
End User
Shanghai Opotong Instruments Co., Ltd.
튜닝 횟수
1st
설치 위치
Shanghai, China
장비
Manufacturer: COXEM
Equipment: Tabletop SEM
Model: EM 40
진동 사양
N/A
(I heard that Thermo Fisher Scientific sets the VC vibration specification standard every time we do it. I don't have YIMO, and I heard that the VC vibration standard specification changes every time in the equipment specification, so I couldn't write down the exact vibration specification.)
장비 상태
The equipment is turned On/IDLE
Tuning Request
1st
측정 요약
| Measurement Point | Status | Vibration Specification | Axis | Floor | DVIA-T56 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1.Floor2.DVIA-T56 | Equipment is Turned on/IDLE | - | Vertical | VC-B @ 25 Hz | VC-D @ 25 Hz |
| Left to Right | VC-A @ 25 Hz | VC-G @ 25 Hz | |||
| Front to Back | VC-A @ 25 Hz | VC-C @ 25 Hz |
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
12. 장비 사진
13. Reference
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
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