설치 보고서
DVIA-T Series
05-06-2026
Shuyu Industrial SCINCO STA 1000 DVIA-T56 (250102R2-2) Re-Tuning Report
DVIA-T Series
Installation Report
Re-Tuning Report
YIMO
Shuyu Industrial
SCINCO
STA 1000
DVIA-T56
250102R2-2
Contents
Prepared by
Engineer: Juhyeok Kim
Tuning date: 26.05.06
Report written date: 26.05.06
개요
Re-tuning due to the DVIA-T56 active vibration oscillation
진동 제어 시스템 정보
Model: DVIA-T56
Serial Number: 250102R2
담당 엔지니어
Juhyeok Kim DAEIL SYSTEMS
Tuning Date
May 6, 2026
End User
Shuyu Industrial Co., Ltd
튜닝 횟수
N/A
설치 위치
N/A
장비
Manufacturer: N/A
Equipment: SCINCO
Model: STA 1000
진동 사양
N/A
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
Tuning Request
N/A
측정 요약
| Measurement Point | Status | Vibration Specification | Axis | Floor | DVIA-T56 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1.Floor2.DVIA-T56 | Equipment is Turned on/IDLE | Refer to item 9 | Vertical | VC-B@ 25 Hz | VC-D@ 25 Hz |
| Left to Right | VC-A@ 25 Hz | VC-G@ 16 Hz | |||
| Front to Back | VC-A@ 25 Hz | VC-C@ 25 Hz |
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
장비 사진
Photography does not allowed
13. Reference
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-T Series
작성일05-06-2026
태그
DVIA-T Series
Installation Report
Re-Tuning Report
YIMO
Shuyu Industrial
SCINCO
STA 1000
DVIA-T56
250102R2-2
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