Hitachi High-Tech TEM HT7830 DVIA-ULFB1000 설치 보고서
Contents
개요
Hitachi NCK센터 1층 연구실에 DVIA-ULFB1000 설치 후 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULFB1000
시리얼 넘버: 260611R4
엔지니어
박규민, 문창현 · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.23
설치 장소
Hitachi 수원 NCK센터 1층 연구실
End User
Hitachi-high tech
고객사 장비
제조사: Hitach-high tech
장비명: TEM
모델: HT7830
진동 스펙
수평
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm pk-pk] | |
|---|---|---|
| 1 | 2 | |
| 1 | 0.8 | |
| 3 | 0.8 | |
| 3 | 1.5 | |
| 20 | 1.5 | |
| 20 | 2 | |
| 100 | 2 | |
수직
| 주파수 [Hz] | 스펙 [µm pk-pk] | |
|---|---|---|
| 1 | 3 | |
| 3 | 3 | |
| 3 | 1.5 | |
| 20 | 1.5 | |
| 20 | 1 | |
| 100 | 1 | |
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
10.1) Measurement Equipment
하드웨어: B&K Front End Type 3040-A-040
소프트웨어: B&K Pulse Labshop22 Version
10.2) Accelerometer
PCB 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 2400
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
결론
Hitachi NCK센터 1층 연구실에 설치된 Hitachi High-Tech TEM(HT7830) 장비의 안정적인 운용 환경 확보를 위해 DVIA-ULFB1000(S/N 260611R4) 제진대 설치 및 튜닝을 진행하였습니다. 측정 결과, 설치 위치의 바닥 자체 진동 수준이 이미 수직(Z-axis) 기준 VC-E, 수평(X/Y-axis) 기준 VC-G 수준으로 매우 우수한 저진동 환경인 것으로 확인되었습니다. 이에 따라 이번 튜닝은 무리한 진동 저감 성능 확보보다는 장기적인 운용 안정성 확보에 중점을 두어 진행하였으며, 그 결과 전 축(Z, X, Y)에서 장비 요구 진동 스펙(Section 8)을 안정적으로 만족하는 것으로 확인되었습니다. 이를 통해 현재 설치 위치는 TEM(HT7830) 장비 운용에 매우 적합한 진동 환경을 갖추고 있음을 확인하였으며, 향후에도 안정적인 장비 운용이 가능할 것으로 판단됩니다.
측정 데이터 요약
| 측정 위치 | 진동 스펙 | 측정 축 | 측정 결과 | |
|---|---|---|---|---|
| 바닥 | DVIA-ULFB1000 | |||
| 1. 바닥 2. DVIA-ULFB1000 | Section 8 참조 | 수직(Z-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS |
| 좌우(X-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후(Y-axis) | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Z-axis — Autospectrum
X-axis — Autospectrum
Y-axis — Autospectrum
Installation Photo
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. 8~80Hz(VC-A 및 VC-B) 또는 1~80Hz(VC-C~VC-G) 주파수에 대한 1/3 옥타브 대역에서 측정됨.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 경우 폭, 의료 및 제약 연구의 경우 입자(세포) 크기 등을 나타냅니다. 이는 프로브 기술, AFM 및 나노기술과 관련된 이미징에 해당합니다.
이 표에 제공된 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 조언을 구하는 것이 좋습니다.
