ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ULF700 설치 보고서
Contents
개요
Linhai, Zhejiang 현장에 DVIA-ULF700을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비를 Idle 상태로 두고 진행했습니다.
데이터는 Autospectrum 형식으로 제시했으며, 진동 레벨에 관한 참고 자료는 함께 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 260902R5
엔지니어
Taehun Kim · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.20
End User
Xintaijia Optoelectronics
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Linhai, Zhejiang
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
| 100 | 2 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
| 100 | 2 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
결론
DVIA-ULF700 (S/N 260902R5)을 Linhai, Zhejiang 현장에 설치하고 튜닝을 수행했습니다.
패시브 구간에서 10 Hz 부근(수평, X축)에 나타난 구조 공진은 컨트롤러 튜닝으로 억제했습니다. 해당 주파수의 감쇠량은 -20 dB에 도달하지 못했으나, 결과값은 가 수락했습니다.
Idle 상태에서 바닥 진동은 세 축 모두 기준 규격(9절)을 초과했으며, DVIA-ULF700 위 진동은 세 축 모두 규격을 만족했습니다.
참고: SEM 커버를 설치하기 전에 측정한 값입니다. 최종 조립 이후 재점검을 권장합니다.
측정 데이터 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF700 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.
