YIMOTECH ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ULF700 설치 보고서
Contents
개요
중국 상하이(Shanghai) 현장에 DVIA-ULF700을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다.
진동 측정은 장비를 Idle 상태로 두고 진행했습니다.
측정 데이터는 VC Curve 형식으로 표현했으며, 진동 레벨 판단에 필요한 참고 자료를 함께 수록했습니다.
제진대
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 260511R3
엔지니어
Taehun Kim · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.08.20
End User
Jiechuang Trading
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Shanghai
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
| 100 | 2 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
| 100 | 2 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
결론
진동 측정은 설치 바닥면과 DVIA-ULF700 능동형 제진대 상판 두 지점에서 수행했고, 9절에 정의된 기준으로 평가했습니다.
바닥에서는 수직축이 기준을 만족하지 못했고, 수평축(좌우·전후)은 허용 범위 안에 들어왔습니다. 즉 현장의 바닥 진동 조건만으로는 설치 장비의 운용 요건을 감당하기 어렵다는 뜻입니다.
DVIA-ULF700 설치 후에는 제진대 상판에서 측정한 세 축이 모두 기준을 만족했습니다. 바닥에서 관측된 수직축 초과분은 제진대가 완전히 감쇠시켰고, 수평축도 기준 이내를 유지했습니다. DVIA-ULF700이 현장의 부족한 진동 환경을 실질적으로 보완한다는 것이 이번 결과로 확인되었습니다.
측정 데이터 요약
| Measurement Point | VibrationSpecifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF700 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical — Autospectrum
Left to Right — Autospectrum
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.
