ZEISS FE-SEM Sigma 360 DVIA-ULF700 설치 보고서
Contents
개요
후베이(Hubei) 현장에 DVIA-ULF700을 설치한 뒤 튜닝과 진동 측정을 수행했습니다. 이번 튜닝은 1차 튜닝(2026.09.08) 이후 고객사의 요청에 따라 진행된 2nd 튜닝입니다. 진동 측정은 장비를 Idle 상태로 두고 진행했습니다. 측정 데이터는 각 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)의 Autospectrum 플롯으로 제시했으며, 진동 레벨에 관한 참고 자료는 16절에 수록했습니다.
제진대
모델: DVIA-ULF700
시리얼 넘버: 260605R7
엔지니어
Taehun Kim · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.09.21
End User
Hubei Jinquan
튜닝 횟수
2nd
설치 장소
Hubei
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.04 |
| 10 | 0.04 |
| 10 | 0.17 |
| 20 | 0.17 |
| 20 | 0.3 |
| 70 | 0.3 |
| 70 | 2 |
| 100 | 2 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [mm/s² RMS] |
|---|---|
| 1 | 0.03 |
| 8 | 0.03 |
| 8 | 0.15 |
| 45 | 0.15 |
| 45 | 2 |
| 100 | 2 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
결론
2026.09.08의 1차 튜닝에서는 기대하는 제진 성능을 달성하지 못했습니다. 고객사의 요청에 따라 2026.09.21에 2nd 튜닝을 수행한 결과, DVIA-ULF700 위 진동 레벨은 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back) 모두 규격을 만족했습니다. 바닥 진동은 세 축 모두 규격을 초과했습니다.
두 번의 튜닝 세션을 비교한 사진으로 보아 패시브 설정이 재조정된 것으로 보입니다. 특히 스프링 압축량이 네 개 지지점 전체에 보다 고르게 분포된 것으로 보이며, 이는 하중이 지지점 사이에 보다 균일하게 분배되었음을 시사합니다.
스프링 강성은 압축량에 따라 달라지므로, 네 개 지지점의 강성을 적절히 균형 있게 맞추는 것이 필요합니다. 이전 설정에서는 이를 달성하지 못했을 가능성이 큽니다. 따라서 개선된 패시브 설정이 능동 제어 밴드와의 간섭을 줄여 전체 제진 성능을 높인 것으로 판단됩니다.
이러한 성능을 유지하기 위해서는 현재 패시브 설정(스프링 압축량 및 하중 분포 포함)을 그대로 유지할 것을 권장합니다. 장비가 이동하거나 하중이 변경될 경우 재점검이 필요합니다.
측정 데이터 요약
| Measurement Point | VibrationSpecifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF700 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF700 | See Section 9 | Vertical | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
Equipment
Passive 1
Passive 2
Passive 3
Passive 4
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우 해당 장비 및 공정의 응용 분야와 진동 요구 조건을 잘 아는 전문가의 자문을 받을 것을 권장합니다.
