설치 보고서
DVIA-ULF Series
05-21-2026
Greater Bay Area Quantum Center ZEISS Sigma 360 DVIA-ULF700 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
Greater Bay Area Quantum Center
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ULF700
목차
개요
DVIA-ULF700 능동형 진동 절연 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
진동 절연 시스템 정보
모델: DVIA-ULF700
시리얼 번호: 251110R7
엔지니어
Juhyeok Kim from DAEIL SYSTEMS
튜닝 날짜
2026년 5월 21일
최종 사용자
Greater Bay Area Quantum Center
튜닝 시도 횟수
1st
위치
Shenzhen, China.
장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Sigma 360
진동 사양
장비 상태
The equipment isturned on/IDLE
튜닝 요청
1st
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | VibrationSpecification | Floor | DVIA-ULF700 | Floor | DVIA-ULF700 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1.Floor 2.DVIA-ULF700 | Equipment is Turned on/IDLE | 수직 | VC-G | {red}VC-C @31.5Hz{/red} | {blue}VC-G @31.5Hz{/blue} | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-E | {red}VC-E @12.5Hz{/red} | {blue}VC-G @12.5Hz{/blue} | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| 전후 | VC-D | {red}VC-D @12.5Hz{/red} | {blue}VC-G @12.5Hz{/blue} | ✓ PASS | ✓ PASS |
UI 프로그램을 통해 얻은 측정 데이터
수직 VC 곡선
수직 Autospectrum
수직 전달률
좌우 VC 곡선
좌우 Autospectrum
좌우 전달률
전후 VC 곡선
전후 Autospectrum
전후 전달률
장비 사진
참조
일반 진동 기준
*참고:*
- 8–80 Hz(VC-A/B) 또는 1–80 Hz(VC-C~VC-G)에서 1/3 옥타브 밴드로 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일05-21-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Greater Bay Area Quantum Center
ZEISS
Sigma 360
FE-SEM
DVIA-ULF700
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