설치 보고서

DVIA-ULF Series

08-27-2025

COXEM ZEISS FE-SEM SUPRA 55VP DVIA-ULFB1000 Installation Report

DVIA-ULF Series

Installation Report

COXEM

ZEISS

SUPRA 55VP

DVIA-ULFB1000

250711R2

개요

미건테크노월드1차 2209호에 설치된 DVIA-ULFB1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.

장비 설치 및 Turned off 상태에서 진동측정 및 튜닝 진행하였습니다.

Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-ULFB1000

시리얼 넘버: 250711R2

엔지니어

대일시스템 필드엔지니어 이채원

측정 날짜

2025년 08월 27일

설치 장소

미건테크노월드1차 2209호

End User

COXEM

장비 상태

장비설치/Turned off

고객사 장비

Manufacturer: ZEISS

Equipment: FE-SEM

Model: SUPRA 55VP

진동 스펙

진동 측정 장비

10.1) Data Physics DAQ

-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436

-Software: SignalCalc ACE

10.2) Accelerometer

PCB Accelerometer

Model: 393B05

진동 측정 Setup

F Span: 200

Lines: 3200

Engineering Units: m/s

Window: Hanning

Averaging: FFT Spectrum Averaging

Average Mode: Exponential, 40

결론

모든 방향에서 진동스펙을 만족합니다.

측정 데이터

측정 장소	상태	방향	측정값		결과
측정 장소	상태	방향	바닥 진동	DVIA-ULFB1000	바닥 진동	DVIA-ULFB1000
미건테크노월드 1차 2209호 1.바닥 진동 2.DVIA-ULFB1000	장비 설치 및 Turned off	Vertical	VC-D @ 31.5 Hz	VC-G @ 31.5 Hz	✓ PASS	✓ PASS
		Left to Right	VC-E @ 1.6 Hz	VC-F @ 1.6 Hz	✓ PASS	✓ PASS
		Front to Back	VC-D @ 1 Hz	VC-G @ 1 Hz	✓ PASS	✓ PASS

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

설치 사진

참고자료

일반 진동 기준

기준 곡선	설명	진폭 μm/s (µin/s)	상세 크기 μm
Workshop (ISO)	뚜렷하게 감지되는 진동. 작업장 및 비민감 구역에 적합.	800 (32,000)	N/A
Office (ISO)	감지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 구역에 적합.	400 (16,000)	N/A
Residential Area (ISO)	거의 감지되지 않는 진동. 대부분의 수면 구역에 적합.	200 (8,000)	75
Operating Theatre (ISO)	감지되지 않는 진동. 수술실, 100배율 현미경에 적합.	100 (4,000)	25
VC-A	400배율 광학 현미경, 미량 저울, 광학 저울에 적합.	50 (2,000)	8
VC-B	3μm 선폭의 검사 및 리소그래피 장비에 적합.	25 (1,000)	3
VC-C	1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합.	12.5 (500)	1 - 3
VC-D	전자 현미경(SEM/TEM) 등 고정밀 장비에 적합.	6.25 (250)	0.1 - 0.3
VC-E	나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 최고 정밀 시스템에 적합.	3.12 (125)	< 0.1
VC-F	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	1.56 (62.5)	N/A
VC-G	극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음.	0.78 (31.25)	N/A

참고:

1. VC-A/B는 8-80 Hz의 1/3 옥타브 밴드에서, VC-C부터 VC-G는 1-80 Hz에서 측정됩니다.

2. 상세 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조의 선폭 또는 의료 연구의 입자 크기를 의미합니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리

설치 보고서

시리즈DVIA-ULF Series

작성일08-27-2025

태그

DVIA-ULF Series

Installation Report

COXEM

ZEISS

SUPRA 55VP

DVIA-ULFB1000

250711R2

COXEM ZEISS FE-SEM SUPRA 55VP DVIA-ULFB1000 Installation Report

목차

개요

제진대

엔지니어

측정 날짜

설치 장소

End User

장비 상태

고객사 장비

진동 스펙

진동 측정 장비

진동 측정 Setup

결론

측정 데이터

데이터&이미지

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC Curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospecturm

Front to Back Transmissibility

설치 사진

참고자료

일반 진동 기준

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