ZEISS Gemini SEM 560 DVIA-ULF1000 설치 보고서
DVIA-ULF Series
Installation Report
Xi’an Jiaotong University Testing Center
ZEISS
Gemini SEM 560
DVIA-ULF1000
250923R4
Contents
개요
Xi’an에 DVIA-ULF 1000 설치 후 튜닝 및 진동 측정 진행하였습니다.
IDLE 상태로 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 Autospectrum으로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF 1000
시리얼 넘버: 250923R4
엔지니어
Younguk KIM · 대일시스템
튜닝 날짜
2026.10.13
End User
Xi’an Jiaotong University Testing Center
튜닝 횟수
1st
설치 장소
Xi’an
고객사 장비
제조사: ZEISS
장비명: SEM
모델: Gemini SEM 560
진동 스펙
Horizontal
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 5 |
| 10 | 10 |
| 60 | 14 |
Vertical
| Frequency [Hz] | Allowable [µm/s RMS] |
|---|---|
| 1 | 4 |
| 10 | 14 |
| 60 | 20 |
장비 상태
Idle
Tuning Request
결론
수평 축에서 약 2–3 Hz 부근에 공진이 확인되었으며, 4–5 Hz 구간의 절연 성능은 기대치보다 낮게 나타났습니다. 목표 감쇠량 -20 dB는 완전하게 달성하지 못하였으나, 장비 운용에 영향은 없을 것으로 판단됩니다. 고객에게 해당 결과를 설명하였고, 해당 결과를 바탕으로 설치를 마무리하였습니다.
측정 데이터 요약
| Measurement Point | Vibration Specifications | Axis | Result | |
|---|---|---|---|---|
| Floor | DVIA-ULF 1000 | |||
| 1. Floor 2. DVIA-ULF 1000 | See Section 9 | Vertical | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
측정 데이터
Vertical
Vertical — Autospectrum
Left to Right
Left to Right — Autospectrum
Front to Back
Front to Back — Autospectrum
설치 사진
Equipment
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에는 해당하지 않습니다.
이 표의 정보는 참고용입니다. 대부분의 경우, 해당 장비 및 공정 운용과 진동 요구사항에 대해 잘 알고 있는 전문가의 자문을 구하는 것이 권장됩니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
작성일10-13-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
Xi’an Jiaotong University Testing Center
ZEISS
Gemini SEM 560
DVIA-ULF1000
250923R4
