ASM ZEISS GeminiSEM 560 DVIA-ULF1000 (260415R5) Installation Report
목차
개요
ASM 화성사업장 1동 4층 실험실에 설치된 DVIA-ULF1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 Turned on/IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1000
시리얼 넘버: 260415R5
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
튜닝 날짜
2026년 5월 11일
설치 장소
ASM 화성사업장 1동 4층 실험실
End User
ASM
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: GeminiSEM 560
장비 스펙
Horizontal:
up to 10 Hz: less than 5 µm/s rms
10 - 60 Hz: less than 10 µm/s rms
above 60 Hz: less than 14 µm/s rms
Vertical:
up to 10 Hz: less than 4 µm/s rms
10 - 60 Hz: less than 14 µm/s rms
above 60 Hz: less than 20 µm/s rms
장비상태
장비 설치 및 Turned on/IDLE
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 바닥 (RMS, µm/s) | DVIA-ULF1000 (RMS, µm/s) | 바닥 결과 | DVIA-ULF1000 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ASM 화성사업장 1동4층 실험실 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF1000 | Turned on/IDLE | Vertical | 8번 항목 참조 | 10.3@ 58.9 Hz | 0.201@ 58.9 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS |
| Left to Right | 5.19@ 1.63 Hz | 0.503@ 1.63 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | |||
| Front to Back | 8.16@ 1.88 Hz | 0.799@ 1.88 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
설치사진
참고자료
*참고:*
- VC-A/B는 8–80 Hz, VC-C~G는 1–80 Hz 1/3 옥타브 밴드에서 측정합니다.
- Detail size는 반도체 패턴 폭 또는 의료 연구의 입자 크기 등을 가리킵니다.
