Bruker Korea ZEISS Gemini SEM 560 DVIA-ULF1000 Installation Report
목차
작성자
엔지니어: 이채원
측정 날짜: 25.10.13
보고서 작성일: 25.10.14
개요
가든파이브 툴관 5F Bruker Korea Demo실에 설치된 DVIA-ULF1000 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
장비 설치 및 Turned off 상태로 튜닝 및 진동측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1000
시리얼 넘버: 250717R1
엔지니어
대일시스템 필드엔지니어 이채원
측정 날짜
2025년 10월 13일
설치 장소
가든파이브 툴관 5F Bruker Korea Demo실
End User
Bruker Korea
고객사 장비
Manufacturer: ZEISS
Equipment: FE-SEM
Model: GeminiSEM 560
장비 스펙
장비상태
장비 설치 및 Turned off
진동 측정 장비
10.1) Data Physics DAQ
-Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
-Software: SignalCalc ACE
10.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
F Span: 200 Hz
Lines: 3200
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Averaging mode: Exponential, 40
결론
모든 방향에서 진동 스펙을 만족합니다.
측정 데이터
| 측정 지점 | 상태 | 방향 | 바닥 진동 | DVIA-ULF1000 | 바닥 진동 | DVIA-ULF1000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 가든파이브 툴관 5F Bruker Korea Demo실 1. 바닥진동 2. DVIA-ULF1000 | 장비 설치 및 / Turned off | Vertical | VC-C @ 5 Hz | VC-G @ 5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-C @ 1 Hz | VC-E @ 1 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터&이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
장비사진
참고자료
일반 진동 기준
참고:
- VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
- 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
