Bruker Korea ZEISS Solaris GeminiSEM 560 DVIA-ULF1000 (250717R1) Installation Report
목차
작성자
엔지니어: Chaewon Lee
튜닝 날짜: 25.10.13
보고서 작성일: 25.10.14
개요
본 보고서는 Bruker Korea Demo Lab에 설치된 ZEISS GeminiSEM 560 FE-SEM용 DVIA-ULF1000 모듈형 능동형 진동 절연 플랫폼 설치 내용을 기술합니다.
DAEIL은 DVIA-ULF1000 플랫폼을 견고한 지반층에 설치했습니다.
DAEIL은 6축 현장 맞춤 튜닝 및 진동 측정을 수행하여 시스템 성능을 평가·검증했습니다.
측정된 모든 진동 데이터는 VC(Vibration Criteria) 곡선으로 변환되었으며, 본 보고서에 현장 평가 및 향후 FE-SEM 성능 검증을 위한 참조 기준으로 포함되어 있습니다.
튜닝 날짜
13TH Oct, 2025
설치 장소
Bruker Korea Demo Lab
장비
제조사: ZEISS
장비: FE-SEM
모델: Solaris GeminiSEM 560
진동 측정 장비
8.1) Data Physics DAQ
Hardware: QUATTRO, Serial Number: 22436
Software: SignalCalc ACE
8.2) Accelerometer
PCB Accelerometer
Model: 393B05
진동 측정 Setup
Bandwidth: 200 Hz
Lines: 3200
Averaging: FFT Spectrum Averaging
Engineering Units: m/s
Window: Hanning
Averaging mode: Exponential, 40
진동 사양
결론
ULF 설치 후 바닥 진동이 모든 축에서 진동 사양 이내로 감소했습니다.
측정 요약
| 측정 지점 | 상태 | 축 | 바닥 | DVIA-ULF1000 | 바닥 | DVIA-ULF1000 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 5F, Bruker Korea Demo실 1. Floor 2. DVIA-ULF1000 | Equipment Installed / Turned off | Vertical | VC-C @ 5 Hz | VC-G @ 5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| Left to Right | VC-D @ 12.5 Hz | VC-G @ 12.5 Hz | ✓ PASS | ✓ PASS | ||
| Front to Back | VC-C @ 1 Hz | VC-E @ 1 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
데이터 및 이미지
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC Curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
장비 사진
참조
*참고:*
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미.
