LG이노텍 나노시스템 백색광 간섭계 DVIA-ULF1000 설치 보고서
Contents
개요
LG이노텍 구미사업장 4공장 2층 클린룸에 DVIA-ULF1000 설치 후 튜닝 및 성능확인 진행하였습니다.
IDLE 상태로 점검 및 진동 측정 진행하였습니다.
Data를 VC Curve로 표기 후 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.
제진대
모델: DVIA-ULF1000
시리얼 넘버: 260821S1
엔지니어
박규민 · 대일시스템
튜닝 날짜
26.09.29
설치 장소
구미사업장 4공장 2층 클린룸
End User
LG이노텍
고객사 장비
제조사: 나노시스템
장비명: 정밀 계측설비(백색광 간섭계)
모델: -
진동 스펙
-
장비 상태
IDLE
진동 측정 장비
Hardware: DVIA-ULF1000
Software: Monitor_TU_6DOF
결론
1) 설치 및 진동 감쇠 성능 (IDLE 상태)
설치 개요: LG이노텍 구미사업장 4공장 2층 클린룸 내 나노시스템 정밀 계측설비(백색광 간섭계)에 DVIA-ULF1000 설치 및 튜닝을 완료하였습니다.
IDLE(정적) 성능: 측정 결과 Z축(수직) VC-F, X축(좌우) VC-E, Y축(전후) VC-D 수준을 확보하여 우수한 진동 절연 성능을 확인하였습니다.
2) 현장 조치 및 동적 성능 테스트 진행 경과
1일차 (9/28):
초기 설치 및 튜닝 후, 정적 상태에서의 성능 및 스테이지 구동 시 편심 변화에 따른 안정성 검증을 시도하였습니다.
상부 장비 하부의 레벨풋 최단 길이가 ULF 유닛 높이와 유사하여, 스테이지 구동시 레벨풋과 바닥 간 간섭(충돌) 이슈가 발생하여 높이 보정을 위해 익일 재작업으로 연계되었습니다.
2일차 (9/29):
제진대 유닛 하부에 rubber isolation pad를 배치해 높이를 확보한 후, 재설치 및 재튜닝을 완료하였습니다.
실제 계측 성능 검증: 더미 웨이퍼(Dummy Wafer) 투입 및 레시피 구동(X·Y축 스테이지 이동) 후 스테이지 정지조건에서 성능 실측 테스트 결과, 기존 대비 진동이 대폭 개선되어 정상 설비 운용이 가능함을 확인하였습니다.
3) 추후 진행 및 권고사항
유닛 위치 고정: 연속적인 스테이지 구동 시 발생할 수 있는 유닛 위치 이탈 및 탑재장비 낙상 방지를 위해 바닥 앵커 볼트 고정을 권장합니다.
측정 데이터 요약
| Measurement Point | Vibration Specification | Axis | Floor | DVIA-ULF1000 |
|---|---|---|---|---|
| 1. Floor 2. DVIA-ULF1000 | See Section 8 | Vertical | Operating Theatre (ISO) | VC-F |
| Left to Right | Operating Theatre (ISO) | VC-E | ||
| Front to Back | Operating Theatre (ISO) | VC-D |
측정 데이터
Vertical (Z-axis)
Z-axis — Autospectrum
Z-axis — VC Curves
Left to Right (X-axis)
X-axis — Autospectrum
X-axis — VC Curves
Front to Back (Y-axis)
Y-axis — Autospectrum
Y-axis — VC Curves
설치 사진
참고자료
아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.
참고:
1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.
