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설치 보고서
DVIA-ULF Series
07-13-2026

YIMOTECH Thermo Fisher Helios 5CX FIB-SEM DVIA-ULF1000 Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMOTECH
Thermo Fisher Scientific
Helios 5CX
FIB-SEM
DVIA-ULF1000
260320R1

Contents

개요

DVIA-ULF1000을 Beijing에 설치한 후 튜닝 및 진동 측정을 진행하였습니다.

진동 측정은 장비 IDLE 상태에서 진행하였습니다.

Data는 VC Curve 형식으로 표기하고 진동 수준에 대한 Reference 자료를 제공합니다.

제진대

모델: DVIA-ULF1000

시리얼 넘버: 260320R1

엔지니어

Taehun Kim · 대일시스템

튜닝 날짜

2026.07.13

End User

Citic Metal

튜닝 횟수

2nd

설치 장소

Beijing

고객사 장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비명: FIB-SEM

모델: Helios 5CX

진동 스펙

VC-F

장비 상태

IDLE

Tuning Request

측정 데이터 요약

Measurement PointVibration SpecificationsAxisFloorDVIA-ULF1000
1. Floor
2. DVIA-ULF1000		See Section 9Vertical✗ FAIL✓ PASS
Left to Right✗ FAIL✓ PASS
Front to Back✗ FAIL✓ PASS

측정 데이터

Vertical — VC Curves

Left to Right — VC Curves

Front to Back — VC Curves

설치 사진

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.

기준 곡선설명진폭 (μm/s) (μin/s)세부 크기 (μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 영역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 영역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 영역에 적합합니다. 일반적으로 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비 및 40배 미만 현미경에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수술실, 100배 현미경 및 기타 저감도 장비에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스, 근접·투영 정렬기 등에 대부분 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 세부 크기까지의 리소그래피·검사 장비(중간 감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준입니다.12.5 (500)1-3
VC-D다수의 전자현미경(SEM/TEM) 및 E-Beam 시스템 등 까다로운 장비에 대부분 적합합니다.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 민감 시스템에 적합한 것으로 가정합니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장됩니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장됩니다.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일07-13-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMOTECH
Thermo Fisher Scientific
Helios 5CX
FIB-SEM
DVIA-ULF1000
260320R1

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