설치 보고서
DVIA-ULF Series
05-13-2026
YIMO Thermo Fisher Scientific Helios SEM DVIA-ULF1000 Installation Report
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO
Thermo Fisher Scientific
Helios
SEM
Citic Metal
DVIA-ULF1000
260320R1
Contents
개요
DVIA-ULF1000 능동형 진동 절연 플랫폼이 적절하게 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.
진동 절연 시스템 정보
모델: DVIA-ULF1000
시리얼 번호: 260320R1
Engineer
Juhyeok Kim DAEIL SYSTEMS
Tuning Date
May 13, 2026
최종 사용자
Citic Metal
튜닝 시도 횟수
1차
위치
Bejing
장비
제조사: Thermo Fisher Scientific
장비: SEM
모델: Helios
진동 사양
장비 상태
The equipment is turned on/IDLE
튜닝 요청
N/A
측정 요약
| 측정 장소 | 상태 | 방향 | 진동 스펙 | 측정값(RMS, μm/s) | 측정값(RMS, μm/s) | 측정 결과 | 측정 결과 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바닥진동 | DVIA-ULF1000 | 바닥진동 | DVIA-ULF1000 | ||||
| 1.Floor 2.DVIA-ULF1000 | Turned on/IDLE | 수직 | VC-F | VC-E @ 6.3 Hz | VC-G @ 6.3 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
| 좌우 | VC-G | VC-F @ 3.15 Hz | VC-G @ 3.15 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS | ||
| 전후 | VC-E @ 2.5 Hz | VC-G @ 2.5 Hz | ✗ FAIL | ✓ PASS |
UI 프로그램 측정 데이터
Vertical VC Curves
Vertical Autospectrum
Vertical Transmissibility
Left to Right VC curves
Left to Right Autospectrum
Left to Right Transmissibility
Front to Back VC Curves
Front to Back Autospectrum
Front to Back Transmissibility
12. 장비 사진
13. Reference
일반 진동 기준
| 기준 곡선 | 설명 | 진폭 µm/s (µin/s) | 세부 크기 µm |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 뚜렷하게 체감할 수 있는 진동 수준. 워크숍 및 민감하지 않은 구역에 적합. | 800 (32,000) | N/A |
| Office (ISO) | 인지 가능한 수준의 진동. 사무 공간 및 기타 민감하지 않은 환경에 적합. | 400 (16,000) | N/A |
| Residential Area (ISO) | 거의 느껴지지 않는 수준의 진동. 대부분의 수면 공간에 적절. | 200 (8,000) | 75 |
| Operating Theatre (ISO) | 진동이 감지되지 않는 수준. 외과 수술실, 100배율 이하 현미경에 적합. | 100 (4,000) | 25 |
| VC-A | 400배율 광학 현미경, 미세 저울, 광학 저울에 적합. | 50 (2,000) | 8 |
| VC-B | 3μm 선폭 검사 및 리소그래피 장비에 적합. | 25 (1,000) | 3 |
| VC-C | 1000배율 광학 현미경, 1μm 리소그래피 장비에 적합. | 12.5 (500) | 1 - 3 |
| VC-D | 전자현미경(SEM/TEM) 등 까다로운 장비에 적합. | 6.25 (250) | 0.1 - 0.3 |
| VC-E | 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 시스템용. | 3.12 (125) | < 0.1 |
| VC-F | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 1.56 (62.5) | N/A |
| VC-G | 극도로 조용한 연구 공간용. 설계 기준으로는 권장되지 않음. | 0.78 (31.25) | N/A |
참고:
1. VC-A/B는 8-80 Hz, VC-C~VC-G는 1-80 Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.
2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료 연구에서의 입자 크기를 의미합니다.
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케이스 스터디 정보
카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일05-13-2026
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DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMO
Thermo Fisher Scientific
Helios
SEM
Citic Metal
DVIA-ULF1000
260320R1
