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설치 보고서
DVIA-ULF Series
05-14-2026

YIMOTECH Thermo Fisher Axia SEM DVIA-ULFB700 Installation Report

DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMOTECH
Shanghai Opotong Instruments
Thermo Fisher Scientific
Axia
SEM
DVIA-ULFB700
260202R1-5
Shanghai

Contents

개요

DVIA-ULFB700 능동형 제진 시스템이 정상적으로 설치되어 의도한 대로 작동하고 있습니다.

제진대

모델: DVIA-ULFB700

시리얼 넘버: 260202R1-5

엔지니어

Juhyeok Kim · 대일시스템

튜닝 날짜

2026년 5월 14일

End User

Shanghai Opotong Instruments Co., Ltd.

튜닝 횟수

1st

설치 장소

중국 상하이

고객사 장비

제조사: Thermo Fisher Scientific

장비명: SEM

모델: Axia

진동 스펙

N/A

(Thermo Fisher Scientific은 진행할 때마다 VC 진동 스펙 기준을 새로 정한다고 들었습니다. YIMO 측 자료를 확보하지 못했고 장비 사양서상 VC 진동 기준도 매번 달라진다고 하여, 정확한 진동 스펙을 기재하지 못했습니다.)

장비 상태

The equipment is turned on/IDLE

Tuning Request

1st

측정 데이터 요약

Measurement PointStatusAxisVibrationSpecificationMeasurement Data
FloorDVIA-ULFB700
1.Floor
2.DVIA-ULFB700		Equipment is Turned on/IDLEVerticalN/AVC-B
@ 3.15 Hz		VC-F
@ 3.15 Hz
Left to RightVC-E
@ 3.15 Hz		VC-G
@ 3.15 Hz
Front to BackVC-D
@ 2.5 Hz		VC-G
@ 2.5 Hz

UI 프로그램 측정 데이터

Vertical VC Curves

Vertical Autospectrum

Vertical Transmissibility

Left to Right VC curves

Left to Right Autospectrum

Left to Right Transmissibility

Front to Back VC Curves

Front to Back Autospectrum

Front to Back Transmissibility

장비 사진

참고자료

아래 표는 IEST-RP-CC012.2 기준의 진동 수준 분류입니다.

기준 곡선설명진폭 (μm/s) (μin/s)세부 크기 (μm)
Workshop (ISO)뚜렷하게 인지되는 진동. 작업장 및 비민감 영역에 적합합니다.800 (32,000)N/A
Office (ISO)인지 가능한 진동. 사무실 및 비민감 영역에 적합합니다.400 (16,000)N/A
Residential Area (ISO)거의 인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수면 영역에 적합합니다. 일반적으로 컴퓨터 장비, 병원 회복실, 반도체 프로브 테스트 장비 및 40배 미만 현미경에 적합합니다.200 (8,000)75
Operating Theatre (ISO)인지되지 않는 진동. 대부분의 경우 수술실, 100배 현미경 및 기타 저감도 장비에 적합합니다.100 (4,000)25
VC-A400배 광학 현미경, 마이크로밸런스, 광학 밸런스, 근접·투영 정렬기 등에 대부분 적합합니다.50 (2,000)8
VC-B3μm 선폭까지의 검사 및 리소그래피 장비(스테퍼 포함)에 적합합니다.25 (1,000)3
VC-C1000배 광학 현미경, 1μm 세부 크기까지의 리소그래피·검사 장비(중간 감도 전자현미경 포함), TFT-LCD 스테퍼/스캐너 공정에 적합한 표준입니다.12.5 (500)1-3
VC-D다수의 전자현미경(SEM/TEM) 및 E-Beam 시스템 등 까다로운 장비에 대부분 적합합니다.6.25 (250)0.1-0.3
VC-E달성하기 까다로운 기준. 장경로·레이저 기반·소형 타겟 시스템, 나노미터 스케일 E-Beam 리소그래피 등 가장 까다로운 민감 시스템에 적합한 것으로 가정합니다.3.12 (125)< 0.1
VC-F극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장됩니다.1.56 (62.5)N/A
VC-G극도로 조용한 연구 공간에 적합. 대부분의 경우(특히 클린룸) 달성이 어려움. 설계 기준이 아닌 평가용으로만 권장됩니다.0.78 (31.3)N/A

참고:

1. VC-A 및 VC-B는 8~80Hz, VC-C~VC-G는 1~80Hz 범위의 1/3 옥타브 밴드에서 측정.

2. 세부 크기는 마이크로일렉트로닉스 제조에서의 선폭 또는 의료·제약 연구에서의 입자(셀) 크기 등을 의미하며, 프로브 기술·AFM·나노기술과 연관된 이미징에 관한 것입니다.

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케이스 스터디 정보

카테고리
설치 보고서
시리즈DVIA-ULF Series
작성일05-14-2026
태그
DVIA-ULF Series
Installation Report
YIMOTECH
Shanghai Opotong Instruments
Thermo Fisher Scientific
Axia
SEM
DVIA-ULFB700
260202R1-5
Shanghai

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