도입사례
대일시스템은 전 세계에서 가장 까다로운 나노 스케일 이미징 및 정밀 계측 현장을 위한 액티브 제진 시스템을 설계하며, 수많은 설치 리포트를 통해 그 흔들림 없는 성능을 매일 증명하고 있습니다.
시리즈
장비 유형
제조사
전체 도입사례

ZEISS FE-SEM Sigma 360 DVIA-ULF700 설치 보고서
Hubei(허베이) Hubei Jinquan 현장의 ZEISS FE-SEM Sigma 360에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260605R7) 설치 보고서입니다. 2026.09.08 1차 튜닝에 이어 고객 요청으로 2026.09.21 2차 튜닝을 진행했습니다. 장비를 Idle 상태로 두고 측정했을 때 DVIA-ULF700 상판은 세 축 모두 스펙을 충족했으며, 바닥 진동은 모든 축에서 스펙을 초과했습니다.

ZEISS EVO 10 SEM DVIA-ULF700 설치 보고서
중국 허베이(Hebei)의 Hebei Hengke Vibration Damping Equipment Co., Ltd.(End User) 현장의 ZEISS EVO 10 SEM에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260827R1) 설치 보고서입니다. 2026.09.14 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥과 DVIA-ULF700 두 지점 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 요구 진동 스펙을 충족(PASS)했습니다. 튜닝 요청 작업지시서, UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치 현장 사진 1장을 함께 게시합니다.
Tier-1 Semiconductor 천안 ZEISS X-ray Microscope DVIA-ULF1500 설치 보고서
Tier-1 Semiconductor 천안(C3라인 6층 양산품질팀 클린룸) ZEISS Xradia 730 Versa X-ray 현미경의 DVIA-ULF1500 설치 보고서입니다. 이전 설치 후 장비 전원 온 상태, 능동 제진 동작 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. ULF 모듈 2기 사이 중앙 지점에서 바닥 진동이 전 축 VC-C 등급 이내로 저감되었습니다. 축별 VC Curves를 게시합니다.

ZEISS FE-SEM Sigma360 DVIA-ULF700 설치 보고서
중국 하이커우(Haikou)의 School of Life and Health Sciences, Hainan Normal University(End User) 현장의 ZEISS FE-SEM Sigma360에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260528R9) 설치 보고서입니다. 2026.09.11 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥과 DVIA-ULF700 두 지점 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 요구 진동 스펙을 충족(PASS)했습니다.

ASE Korea TESCAN FIB-SEM SOLARIS X2 GMH DVIA-ML1000 설치 보고서
ASE 코리아 PB1, 1CMD QO Lab, 전자현미경실에 설치된 TESCAN FIB-SEM SOLARIS X2 GMH 장비에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260622R4) 설치 보고서입니다. 2026.09.11 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 진동을 측정했습니다. 세 축 모두 기준 스펙을 충족해 PASS 판정을 받았으며, 수직축은 VC-B에서 VC-E로, 좌우축은 VC-E에서 VC-G로, 전후축은 VC-B에서 VC-F로 성능이 개선되었습니다.

Pharrics BV MPI Corporation 프로브 스테이션 MPI TS150 DVIA-T67(260402R1) 설치 보고서
Pharrics BV(Leuven)의 MPI Corporation MPI TS150 프로브 스테이션에 DVIA-T67(시리얼 260402R1)을 설치하고 작성한 설치 보고서입니다. 정의된 진동 스펙이 없는 상태에서 프로브 스테이션을 시스템에 장착하고 장비를 Idle 상태로 두고 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다. 측정 결과는 축별 Autospectrum과 VC Curves 플롯으로 제시되며, IEST-RP-CC012.2 진동 기준 분류표를 함께 게시합니다.