도입사례

새론테크놀로지 의왕 사업장 506호 연구실에서 자사 SEM인 SEMIRON 5000을 받치고 있는 DVIA-MB1000(S/N 170619R2) 제진대를 점검하고 진동 환경을 다시 측정한 보고서입니다. 장비를 IDLE 상태로 둔 채 측정한 결과 바닥은 3축 모두 VC-D 수준이었으나, 제진대 위에서는 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축)가 모두 VC-G까지 낮아져 별도의 재튜닝 없이 그대로 운용할 수 있는 상태로 확인됐습니다. 축별 Autospectrum·VC Curves와 장비 사진을 함께 게시합니다.

중국 상하이의 End User Shanghai Fasteners and Welding Materials Technology Research Institute Co., Ltd. (上海紧焊所) 현장에서 ZEISS EVO 10 SEM을 받치고 있는 DVIA-U1000 능동형 제진대(시리얼 241217R6)에 대한 YIMOTECH 설치 보고서입니다. 같은 호기의 2차 튜닝 건으로, 2026.08.04에 재튜닝을 진행하고 장비를 Turned off 상태로 둔 채 진동을 측정했습니다. 게시 자료는 중문 조정 요청서(调试请求书) 작업지시서, 대일시스템 UI 프로그램에서 취득한 축별 전달률(Transmissibility) 그래프 3종(Vertical=Z축, Left to Right=X축, Front to Back=Y축), 그리고 DVIA-U 시리즈 제진대 위에 설치된 EVO 10 현장 사진입니다. 원문 보고서에는 진동 스펙 절과 PASS/FAIL 측정 요약 표가 없어 본 페이지에도 싣지 않았습니다.

YIMO TECH Yidong Optics SEM DVIA-ML1000 설치 보고서(2차 튜닝, 2026.07.17 시행) — 중국 쑤저우 현장(End User: Yidong Optics Co., Ltd.)에서 장비를 IDLE 상태로 둔 채 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 재튜닝하고 측정했습니다. 바닥은 수직 VC-D, 좌우 VC-F, 전후 VC-E였으나 DVIA-ML1000 플랫폼 위에서는 세 축 모두 VC-G에 도달했습니다. 튜닝 요청서(调试请求书)와 축별 Autospectrum·VC Curves, 설치 사진을 함께 게시합니다.

중국 우한(Wuhan) 소재 Hubei University of Technology(End User)에 설치된 ZEISS Sigma 360 FE-SEM용 DVIA-ULFB700(시리얼 260203R2) 설치 보고서입니다. 2026.08.04 튜닝에서 공압 설정과 축별 제어 게인을 조정했고, 장비를 Turned off 상태로 두고 측정한 결과 바닥과 DVIA-ULFB700 상판 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 ZEISS 진동 스펙을 만족했습니다. 튜닝 요청 작업지시서, UI 프로그램으로 취득한 축별 Autospectrum 그래프, 설치된 Sigma 360 현장 사진을 함께 게시합니다.

브루커 코리아를 통해 코스모신소재 AMT에 공급된 DVID-C 제진 카운터(시리얼 260415R2)의 설치 보고서입니다. Bruker Contour X-500 광학 프로파일로미터가 놓이는 자리로, 2026년 8월 5일 장비 설치 및 Turned on/IDLE 상태에서 B&K Front End Type 3040-A-040과 PCB 393B05 가속도계로 진동을 측정했습니다. 바닥 자체가 이미 VC-B를 만족하는 양호한 환경이었고, DVID-C 상판에서도 수직(Z축)·좌우(X축)·전후(Y축) 세 축 모두 VC-B 기준선 아래에 머물러 전 주파수 대역에서 기준을 넘는 피크 없이 PASS했습니다. 축별 VC Curves와 IEST-RP-CC012.2 진동 수준 분류표를 함께 게시합니다.

Tier-1 Semiconductor 기흥 사업장 SR1동 V1라인 3층 Bruker AFM(NM-VI6) 하부에 설치된 DVIA-P4000(시리얼 200805R3)의 VOC 26-132 설치 보고서입니다. 튜닝 날짜는 2026년 7월 21일, 보고서 작성일은 2026년 8월 3일입니다. 반복적으로 발생하던 제진대 POS 알람 이슈를 해결하고 상부 장비 로딩 조건에서의 제어 마진을 확보하기 위해 현장 점검 및 재튜닝을 진행했습니다. IDLE 상태에서 1~100Hz 구간 6.25 µm/s RMS(VC-D) 스펙을 기준으로 측정했으며, 측정 장비는 B&K Front End 3040-A-040, Pulse Labshop 22, PCB 393B05 가속도 센서입니다. 바닥은 수직축에서 스펙을 초과(FAIL)했으나 DVIA-P4000 상판은 3축 모두 PASS했습니다. 수직·좌우·전후 3축 VC Curves를 게시합니다.