도입사례

Tier-1 Semiconductor 천안(C3라인 6층 양산품질팀 클린룸) ZEISS Xradia 730 Versa X-ray 현미경의 DVIA-ULF1500 설치 보고서입니다. 이전 설치 후 장비 전원 온 상태, 능동 제진 동작 상태에서 튜닝과 진동 측정을 진행하였습니다. ULF 모듈 2기 사이 중앙 지점에서 바닥 진동이 전 축 VC-C 등급 이내로 저감되었습니다. 축별 VC Curves를 게시합니다.

중국 하이커우(Haikou)의 School of Life and Health Sciences, Hainan Normal University(End User) 현장의 ZEISS FE-SEM Sigma360에 적용한 DVIA-ULF700(시리얼 260528R9) 설치 보고서입니다. 2026.09.11 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 설치 바닥과 DVIA-ULF700 상판 두 지점에서 진동을 측정했습니다. 바닥과 DVIA-ULF700 두 지점 모두 세 축(Vertical, Left to Right, Front to Back)에서 요구 진동 스펙을 충족(PASS)했습니다.

ASE 코리아 PB1, 1CMD QO Lab, 전자현미경실에 설치된 TESCAN FIB-SEM SOLARIS X2 GMH 장비에 적용한 DVIA-ML1000(시리얼 260622R4) 설치 보고서입니다. 2026.09.11 튜닝을 마친 뒤 장비를 IDLE 상태로 두고 진동을 측정했습니다. 세 축 모두 기준 스펙을 충족해 PASS 판정을 받았으며, 수직축은 VC-B에서 VC-E로, 좌우축은 VC-E에서 VC-G로, 전후축은 VC-B에서 VC-F로 성능이 개선되었습니다.

Pharrics BV(Leuven)의 MPI Corporation MPI TS150 프로브 스테이션에 DVIA-T67(시리얼 260402R1)을 설치하고 작성한 설치 보고서입니다. 정의된 진동 스펙이 없는 상태에서 프로브 스테이션을 시스템에 장착하고 장비를 Idle 상태로 두고 튜닝 및 진동 측정을 수행했습니다. 측정 결과는 축별 Autospectrum과 VC Curves 플롯으로 제시되며, IEST-RP-CC012.2 진동 기준 분류표를 함께 게시합니다.

킴테크닉스 연구실에 Keyence VK-X4000 레이저 스캐닝 공초점 현미경을 대상으로 DVIA-TD45(시리얼 260616R5)를 설치하고 작성한 설치 보고서입니다. 현미경이 Idle 상태인 가운데 데스크 진동, 패시브 제진, 능동 제진의 세 가지 조건으로 튜닝 및 진동 측정을 수행했으며, 최종 진동 수준은 전 축에서 VC-F 등급 이내로 측정되었습니다.

ZEISS Sigma 360 FE-SEM DVIA-ML1000 설치 보고서 — 중국 광저우(Guangzhou)의 최종 사용자 레조낙 일렉트로닉 머티리얼즈(Resonac Electronic Materials) 현장에 DVIA-ML1000 액티브 제진 플랫폼을 설치한 뒤, 장비를 Turned off 상태로 두고 2차 재튜닝과 진동 측정을 진행했습니다. Sigma 360의 수평·수직 허용 진동 사양(1~100 Hz, mm/s² RMS) 기준으로 바닥은 수직·전후 축에서 허용치를 넘어 FAIL이었으나, DVIA-ML1000 플랫폼 위에서는 세 축 모두 PASS 판정을 받았습니다. 튜닝 요청서(调试请求书), 허용 진동 사양 표, 축별 Autospectrum 측정 그래프를 게시하며, 현장 정책상 설치 사진 촬영은 허용되지 않았습니다.